常规型号

1200℃单温区开启式真空管式炉OTF-1200X

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地。

3、气：如作为CVD系统使用，客户需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）。

4、工作台：尺寸600mmtimes;600mmtimes;700mm，承重100kg以上

5、通风装置：需要。

主要特点

1、双层壳体，配有循环风冷系统，壳体温度lt;60℃。

2、内炉膛表面涂有美国氧化铝涂层，可以提高加热效率，同时延长使用寿命。

3、采用PID控制器，可以设置30段升降温程序。

4、设有超温及断偶报警功能。

5、CE认证。

技术参数

1、电源：AC220V 50Hz/60Hz 5、KW

2、石英管：外径Oslash;50mm，内径Oslash;44mm，长1000mm

外径Oslash;60mm，内径Oslash;54mm，长1000mm

外径Oslash;80mm，内径Oslash;74mm，长1000mm

外径Oslash;100mm，内径Oslash;94mm，长1000mm

3、加热元件：掺钼铁铬铝合金电阻丝，表面涂有氧化锆

4、加热区域：440mm

5、工作温度：额定1200℃（必须通入惰性气体以防止炉管发生形变），连续工作1100℃

6、额定升降温速率：20℃/min

7、控温精度：±1℃

8、真空度：10^-2torr（机械泵），10^-5torr（分子泵）

9、泄漏率：lt;5mtorr/min

产品规格

尺寸：590mmtimes;380mmtimes;520mm；重量：40kg

标准配件

1

石英管

1根

2

不锈钢真空法兰

1套

可选配件

1、铰链式法兰

2、数字真空计

3、PC控制软件