真空炉电器故障
（一）温度异常，包括温度过高报警，或显示温度无法达到设定值。
太高温度报警失灵提升方法：
1、先检查工作区域的恒温参数是否正常，参考其他正常使用恒温器的所有参数证明。
2、根据电路图检查相应工作区的固态继电器输出是否击穿，用方法：断电，用万用表电阻测量固态继电器输出电阻两点之间，正常阻力将达到几兆瓦或更高，如果是击穿，几乎没有阻力，必须用相同类型的新型号代替。
3、在启动电源的情况下，手抖动热电偶探头内相应的工作区域，查看相应的恒温器是否显示大范围的跳动，如果出现这种现象，则热电偶探头接触不良，需要更换新的的。

显示温度低至小于设定值
1、同样，先检查工作区温控器参数是否正常，是否有输出信号。
2、检查相应工作区域内的热电偶是否损坏。要检查这些热电偶是否良好，可将恒温器上的热电偶连接到恒温器，并观察温度显示。如果热电偶确实损坏，必须更换。 （注意：如果更换的热电偶是内腔里的，还会涉及到真空密封性能，另外详解）
3、如果恒温器，热电偶没有问题，需要测试加热管是否正常运行。方法：电源打开后，按照电路图开始加热，直接用测试笔测试连接到导线的加热管的相应工作区域（在白色高温下的固体输出线是）看是否有电。如果有电达到，还需要使用夹具来查看当前工作区域之间的当前差异，在正常情况下，差异不显着。
4、如果没有电力到达，您必须逐一检查电路的电路图，看看断电结束以及组件是否烧毁？

（二）真空异常现象
真空泵送或低压
1、先确认厂房的真空气源正常（-95KPa以上），压缩空气压力正常，（正常使用范围为0.4〜0.6MPa）。
2、检查真空表是否正常，正常使用真空表，看参数是否正常？
3、检查门是否关闭，密封膜的门是否损坏，有变形，门被异物污染请仔细检查！
4、如果门没有问题，请检查管道，气动阀门，热电偶入口等位置的相应工作区域。通常在热电偶的入口处出现更多，因为如果有热电偶替换，经常会破坏真空密封性能，必须重新打AB胶来密封。

真空炉机械结构故障
1、门不紧，检查铰链门是否松动，扣是否变形，门密封损坏，门变形？
2、风扇异常声音，请仔细检查风扇内的风机是否有异物，或固定电机电机螺丝松动。
3、气动阀无法动作，先检查对应的电磁阀是否能正常工作，压缩空气压力是否达到工作要求？如果气压正常，且电磁阀也良好，则肯定是气动阀本身坏了，必须更换新的。