快速退火炉是以碘钨灯管为加热元件，升温速度极快，采用S型热电偶测温并采用国际的模糊PID控制，具有很高的控温精度〈±5℃〉，快速退火炉具有真空装置，可在多种气氛下工作。快速退火炉具有升温速度快、密封好、温度范围宽、实验方便等特点。

真空快速退火炉的应用领域：

- 离子注入/接触退火；

- 快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RSGM)；

- 可在真空、惰性气氛、氧气、氢气、混合气等不同环境下使用；

- SiAu, SiAl, SiMo合金化；

- 低介电材料；

- 晶体化，致密化；

- 太阳能电池片键合

快速退火炉适用于下列工作条件：

（1）环境温度在-10～75℃之间。

（2）周围环境的相对湿度不超过85%。

（3）退火炉周围没有导电尘埃，爆炸性气体及严重破坏金属和绝缘材料的腐蚀性气体。

（4）没有明显的倾斜﹑振动和颠簸。

快速退火炉维修注意事项有哪些？

1、快速退火炉次使用或长时间不用后，要在120℃左右烘烤1小时，在300℃左右烘烤2小时后使用，以免造成炉膛开裂。炉温尽量不要超过额定温度，以免损坏加热元件及炉衬。禁止向炉膛内直接灌注各种液体及溶解金属，保持炉内的清洁。

2、炉膛若采用石英管，当温度高于1000℃时，石英管的高温部分会出现不透明现象，这叫失透（又叫析晶性）是连熔石英管的一个固有缺陷，属正常现象。

3、冷炉使用时，由于炉膛是冷的，须大量吸热，所以低温段升温速率不易过快，各温度段的升

温速率差别不易太大，设置升温速率时应充分考虑所烧结材料的物理化学性质，以免出现喷料现象，污染炉管。

4、定期检查温度控制系统的电器连接部分的接触是否良好，应特别注意加热元件的各连接点的连接是否紧固。

5、快速退火炉使用过一段时间后，若真空度降低，可分别更换不锈钢法兰盘之间的耐温硅胶圈或重新安装不锈钢法兰盘或更换修理真空系统，以提高系统的整体真空度。

6、快速火炉在工作过程中，一般在300℃左右若控制偏差还不能消除，出现温度显示值与程序给定值不符或摆动过大，检查参数ldquo;M5、P、trdquo;设置是否准确。

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