高温箱式炉的真空系统说明

　　高温箱式炉体采用双层炉壳结构，双层炉壳之间装有风机，可以快速升降温，炉壳表面温度低。高温箱式炉膛材料采用质的氧化铝多晶纤维，节能50%，上下加热温场均匀（暗火加热）。高温箱式炉加热元件采用硅碳棒。电炉温度控制系统采用人工智能调节技术，具有PID调节、模糊控制、自整定能力并可编制各种升温程序等功能，高温箱式炉该控制系统温度显示精度为1℃，温场稳定度±5℃，升温速率1~20℃可任意设置。

　　高温箱式炉的真空系统说明：

　　1、真空系统为扩散泵机组：即为扩散泵+旋片真空泵由高真空扩散泵、水冷挡板、旋片真空泵、电磁真空带充气阀、高真空气动档板阀（主阀）、高真空气动档板阀预抽阀、高真空气动档板阀（出口阀）、前级管路充气阀、连接管路、密封圈、复合真空计及配电柜等组成的抽气系统。

　　2、高温箱式炉不适宜抽除对金属有腐蚀作用和对泵油起化学反应的气体。高温箱式炉可作为真空冶炼、真空烧结、真空热处理、真空镀膜、真空钎焊、太空模拟实验装置等高科技设备的高真空获得装置。高温箱式炉工作环境温度5~40℃，相对湿度不大于85%，冷却水温度25℃+5℃。

　　3、真空度与真空泵的抽气能力、舱室的密封性以及舱室内部材料（炉体内壁、实验器件、热沉等）的放气量有关，高温箱式炉的极限压力为6、67×10-3pa,使用压力为6、67×10-2pa，抽气时间约为1小时。

　　4、扩散泵不能单形成抽气，必须由前级泵将系统压力降低至扩散泵要求启动的压力之内，一般为≤10pa。

　　5、在扩散泵的进气口装有新型的水冷档板，可有效的防止扩散泵中的油蒸汽返流入真空室内，避免对实验仪器的污染。

　　6、为了防止前级泵中的真空油在停泵时返流入扩散泵泵腔内，必须在前级真空的进气口配电磁阀，在停泵时自动将系统管路隔离。

　　7、阀门均采用气动动方式，高温箱式炉操作方便。

　　8、在开始抽气时,高温箱式炉此系统中设置有预抽管路,被抽气体不经过扩散泵而由前级泵直接抽出,这样做可避免被抽容器中气体对扩散泵的污染（水分、挥发物、杂质），待被抽容器压力降低至10pa时,关闭预抽阀、开启挡板阀,扩散泵开始对被抽容器开始正常抽气。