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定制立式PECVD设备
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电炉介绍：
该系统以含钼电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，炉管两端能不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，真空泵接口，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等点。
结构组成：
定制立式PECVD设备，由真空立式管式炉、石英真空室、射频电源、供气系统、真空测量系统组成。
主要特点：
1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx,SiNx,SiOxNy和无定型硅(a-Si:H)等。
技术参数：
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电炉名称 |
定制PECVD设备 |
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电炉型号 |
SGM-PECVD-DZ |
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立式管式炉 |
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炉膛模式 |
立式开启式 |
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炉膛材料 |
氧化铝耐火纤维 |
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加热元件 |
含钼加热丝 |
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极限温度 |
1200℃ |
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工作温度 |
≤1100℃ |
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升温速率 |
≤20℃(建议:15℃/min) |
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加热温区 |
单温区、多温区 |
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温区总长度 |
200、300、440 |
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炉管材质 |
高纯石英 |
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炉管直径 |
40、50、60、80、100、120、150mm...... |
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密封方式 |
304不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) |
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控制模式 |
触屏 30段智能PID程序控温预留通讯接口 |
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控温精度 |
&±1℃ |
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温度曲线 |
多段"时间—温度曲线"任意可设 |
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测温元件 |
K型热电偶 |
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气路系统 |
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工作电压 |
220V/50HZ |
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额定输出功率 |
18W |
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工作温度 |
5--45℃ |
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额定气压 |
3*106Pa |
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气体通道 |
可同时连接多种气源 |
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流 量 计 |
质量流量计 |
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A路量程 |
0～500SCCM |
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B路量程 |
0～500SCCM |
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C路量程 |
0～500SCCM |
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气路压力 |
-0.1～0.15 MPa |
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截止阀 |
不锈钢材质 |
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气体连接管 |
1/4不锈钢管 |
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等离子电源系统 |
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射频频率 |
13、56 MHz &±0.005% |
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功率范围 |
0-100W、0-300W 、0-500W &±1% |
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射频接口 |
50Ω,N-type |
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嗓声 |
≤55DB |
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冷却 |
风冷 |
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输入功率 |
1KW AC220V/50HZ |
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数显真空计及连接件 |
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数显真空计 |
数显真空计安装在不锈钢法兰上 |
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真空泵组(相关连接配件) |
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真空泵 |
真空泵,及相应连接管件220V/50HZ |
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汽化系统 |
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蠕动泵 |
精度度：+/- 0.5% FS 流量: 0 - 10 ml/min，可调，蕞小速率0.1ml/min 将吸液管放置在溶液容器中，蠕动泵可自动抽取液体 |
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