电炉介绍：
此款定制高温气相沉积系统主要用于TaC、HfC等物料及其复合碳化物等超高熔点涂层化学气相沉积制备工艺的研究。

电炉特点：
1、该系统由高温沉积室、升华室、供气系统及真空系统组成。采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，智能控温无需要人看守。
2、炉膛采购氧化铝多晶纤维材料。炉管两端采用不锈钢法兰密封，密封法兰上安装有相关进气口及出气口

电炉参数：

电炉名称	定制高温CVD系统
沉积炉
电炉型号	SGM-T1500CVD-DZ
炉膛模式	开启式
炉膛材料	氧化铝耐火纤维
加热元件	U型硅钼棒
极限温度	1600℃高温区
工作温度	≤1500℃高温区
升温速率	≤10℃/min
加热温区	单温区、双温区、多温区
温区总长度	200、300、400mm
炉管材质	刚玉管
炉管直径	40、50、60、80、100mm
密封方式	定制不锈钢真空法兰一套(含密封硅胶圈) 底部法兰有三个进气口 方便进气 底部法兰加支架 方便工件放在沉积炉低温区
控制模式	每个温区单 30段智能PID程序控温
温度曲线	多段"时间—温度曲线"任意可设
测温元件	B型双铂铑热电偶
供电电源	220V/380V 50HZ
供气系统 集成在控制柜上
气体通道	可同时连接多种气源
流 量 计	浮子流量计
A路量程	1L/MIN
B路量程	1L/MIN
C路量程	1L/MIN
气路压力	-0.1～0.15 MPa
截止阀	不锈钢材质
气体连接管	1/4不锈钢管
气化炉A、B
额定温度	700
工作温度	500
炉膛尺寸	定制
开门方式	上开
进气口	一个进气口
出气口	一个出气口
售后服务	12个月质保（易耗件及人为损坏除外），终身保修

 

 

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