电炉介绍：

SGM-T1200-S60K-4C型四路高温真空CVD设备由SGM-T1200滑动式快速退火管式炉+真空系统+供气系统组成 ，额定温度可以达到1200度，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计，可以对多种气体进行精度的混气，然后导入到管式炉内部。

SGM-T1200-S60K-4C系列快速退火炉管两端安装真空法兰，真空度用分子泵可以到10-5Torr，机械泵可到10-3Torr。炉底安装一对滑轨，可用手动滑动。加热和冷却速率额定可达100°C/m。为取得蕞快加热，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品位置。为获得蕞快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。加热和冷却速率在真空或者惰性气体环境下可以达到10°C/s，是低成本快速热处理的不错炉子。

应用范围：

SGM-T1200-S60K-4C型四路高温真空CVD设备是一种特殊的高真空CVD系统，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的不错电炉。

规格参数：

电炉名称	四路高温真空CVD设备
电炉型号	SGM-T1200-S60K-4C
工作温度	1100°C
额定温度	1200°C
加热速率	建议：0-10°C/min {额定：0-20℃/min}
加热区	三温区
加热区长度	200+350+200mm
控温精度	&±1°C
炉管直径	OD60mm
炉管长度	大约1200mm-1400mm
真空法兰	两个不锈钢密封法兰，法兰上已经安装数字式真空显示计，和阀门通过机械泵真空压力可以达到5x10-2torr，泄漏率额定6mtorr/min
温控	智能PID多段程序控温
加热曲线	30段可编程
功率	4KW
电压	220V，50HZ，单相
质子流量计	4路精密质子流量计：数字显示、气体流量自动控制。 MFC 1范围: 0~100 sccm MFC 2范围: 0~200 sccm MFC 3范围: 0~200 sccm MFC 4范围: 0~500 sccm 气路:4路 流量精度: 0.2% 进气和出气接口: 1/4" 卡套 一个混气罐。 每路气路都有一个立的不锈钢针阀控制。 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量。

标准配件：

质子混气系统1台、双旋机械泵1台、K型热电偶1支、气炼石英炉管1根、不锈钢法兰1套、不锈钢炉钩1、刚玉炉塞2对、高温手套1副、刚玉坩埚2个、氢气检漏器1个、说明书1份

注：坩埚可按用户需求选配合适的款型

 

 

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