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1200℃小型单温区大口径开启式管式炉-OTF-1200℃5S

厂家: 日期::2021-01-26 浏览次数:

1200℃小型单温区大口径开启式管式炉-OTF-1200℃-5S

1200℃小型单温区大口径开启式管式炉-OTF-1200℃-5S 的详细介绍

SGM OTF-1200℃-5S是一款CE认证的小型开启式管式炉,其额定温度可以达到1200℃。炉管Φ130mm(或100mm)的高纯石英管。设备配有一对不锈钢密封法兰,可在真空或气氛保护环境下对样品进行热处理。对于控温系统,可设置30段升降温程序,控温精度为+/- 1℃。此款管式炉*多可对4英寸的晶片进行退火。

1200℃小型单温区大口径开启式管式炉技术参数

电炉名称

SGM 1200℃小型单温区大口径开启式管式炉OTF-1200℃-5S

Small single temperature zone large diameter open tubular furnace

主要参数

·额定温度:1200℃(<0.5小时)

·连续工作温度:1150℃

·建议加热速率:≦10℃/min

·功率:3KW

·电压:AC 220V 50Hz

炉体结构

·双层壳体结构

 

·采用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料,并且表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率,保证温度均匀性

·此款管式炉也可做为立式炉使用(点击图片查看详细资料)

加热区

·加热区长度:300mm

注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考,不作为该设备的技术指标。您购买电炉需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系。

温控系统

·采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序

·带有超温和断偶保护

·可选购SGM02-B控温模块,可用电脑设置和显示温度程序

欧陆仪表(可选)

·可选购欧陆型温控仪表,控温度可以提升到&±0.1℃。

·具体详情请致电公司销售。

加热元件

掺钼铁铬铝合金

炉管

·石英管口径可选:130mm或100mm

·配有2个氧化铝管堵,使用设备时应放在炉管两端,保证恒温区和法兰密封性

·可选购石英管堵,提高炉管内的洁净度和帮助获得高真空

真空密封法兰

·配有一对不锈钢密封法兰,采用硅胶密封圈密封

·右端法兰为KF25接口,用于连接真空泵

·左端法兰上安装有机械压力表,接口为1/4英寸卡套接头,用于连接气瓶

·真空度:10-2torr (采用机械泵)

·可选:5英寸的水冷铰链法兰,并带有支撑架

·水冷法兰通入冷却水后,设备额定温度可以达到1100℃(<1小时)

真空泵连接

&可选

·您可能需要在真空端部安装一个真空阀

·您可以订购带真空泵和温度校准套件的炉子

真空压力表

·安装有一机械压力表,测量范围为-0.1~0.15MPa

·可选购数显防腐真空计当气压在10mbar以上时,不需因测量气体种类不同而进行系数转换,测量范围为3、8x10-5 -1125 Torr

铠装热电偶(可选)

·可选购铠装K型热电偶,通过法兰的铠装孔伸入到炉管内部,测量样品的实际温度

·可选购一个法兰支撑架,防止炉管转动

外形尺寸

·炉盖关闭时:960mm(L)×500mm(W)×450mm(H)

·炉盖打开时:960mm(L)×660mm(W)×710mm(H)

·控制盒尺寸:200mm(L)×300mm(W)×360mm(H)

净重

48Kg

质保期

一年保修,终身技术支持。

特别提示:

1、耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

点击查看售后服务承诺书。

应用注意事项

·炉管内气压不可高于0.02MPa

·由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全

·当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

·进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击并同时保护炉内温场。

·石英管的长时间使用温度<1100℃

·对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)

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