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双炉体滑动PECVD系统＆循环手套箱OTF-1200℃PESDFG-50
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厂家： 日期：：2020-06-23 浏览次数：
双炉体滑动PECVD系统＆循环手套箱OTF-1200℃-PESDFG-50
双炉体滑动PECVD系统＆循环手套箱OTF-1200℃-PESDFG-50 的详细介绍OTF-1200℃-PESDFG-50是一款双炉体滑动的PECVD系统，并且连接有循环手套箱。此款设备中石英炉管与一循环手套箱相连接，允许客户用CVD方法把样品制作好以后，直接把样品移入到气氛保护环境下的手套箱中。炉体采用滑动式，可在室验中对样品进行快速加热和快速冷却。此款仪器特别适合新一代纳米材料和二维晶体材料的探索研究。
技术参数
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炉体结构（点击图片查看详细资料） |
两个炉体在一个滑轨上面，和通过对炉体的滑动达到对样品快速加热和快速冷却的效果 连续工作温度:1100℃ 两个炉体都可以设置30段升降温程序 |
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等离子体射频电源 |
输出频率:13、56MHz±0.005% 射频功率:500W 匹配: 自动匹配 噪音:<50 dB. 冷却: 空气冷却. 输入电源:208-240VAC, 单相,50/60Hz |
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真空系统 |
采用VRD-16的双旋真空泵, 极限真空10E-3Torr KFD25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连. 管内真空可达10E-2Torr |
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质量流量计混气系统
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四个精密的质量流量计(精度1、5%) ：数字显示，自动控制. MFC1范围:0~100sccm MFC2和3: 0~200sccm MFC4范围: 0~500sccm 一个混气罐，底部装有泄废液口. 4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体. 进气口:4个1/4NPS. 出气口:4个 1/4NPS. 采用PLC控制流量计，通过触摸屏进行控制 可选购气液混合装置，用于CVD系统 |
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炉管&密封法兰
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高纯石英管，尺寸50mmO.Dx44mmI.Dx1800mmL 配有一套不锈钢密封法兰，并且上面安装有真空计 |
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防腐型真空计 |
输入电源 24V，1ASGM（配有一电压转换器） 测量范围 3、8x10-5-1125Torr. 数据显示数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr 接头 KF16 接头 电炉尺寸 46mm×28mm×126mm(LxWxH) |
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循环手套箱
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手套箱尺寸：780mm(L)x700mm(W)x650mm(H)
带有除水系统：保持水含量< 2 ppm
一真空法兰在手套箱的左边，与PECVD系统的石英管相连接
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质保期 |
一年质保期，终身维护（不包含炉管，加热元件和密封圈） |
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CE认证
所有电器元件（输入电源＜24V）都通过连UL/MET/CSA认证
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