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1200℃单温区三通道混气CVD系统-OTF-1200℃80-I-F3LV
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1200℃单温区三通道混气CVD系统-OTF-1200℃-80-I-F3LV
1200℃单温区三通道混气CVD系统-OTF-1200℃-80-I-F3LV 的详细介绍OTF-1200℃-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统，其管径为80mm，采用机械泵，供气系统为三路浮子供气系统，其真空度可达到 10-2torr.
技术参数|
高温炉壳体 |
采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使得壳体表面温度小于55℃ 内炉膛表面涂有1750℃氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度 |
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功率 |
2、5KW |
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电压 |
AC208-240V 单相,50/60Hz |
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加热元件 |
掺钼铁鉻铝合金（表面涂有氧化锆涂层，使其程度延长使用寿命） |
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额定温度 |
1200℃ |
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连续工作温度 |
1100℃ |
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*快升温速率 |
≤20 ℃ |
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炉管材质和尺寸 |
石英管:OD:80mmxID:75mmxLength:1000mm |
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加热区长度 |
400mm |
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恒温区长度 |
150 mm(+/-1 ℃) 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买电炉需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系 |
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控温系统 |
PID30段程序化控温 控温仪表操作视频 |
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控温精度 |
+/-1 ℃ |
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真空密封系统
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两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀），漏气率6mtorr/min
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真空泵
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采用双旋机械泵，机械泵上安装有油污过滤器，可以过滤真空泵工作时产生的油烟，减少泵油的损耗，保护环境和人体健康，过滤的*小微粒直径为0.3微米。 |
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防腐型真空计 |
可选：本公司的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3、8x10-5 至 1125Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片查看详细介绍） |
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混气系统 |
三个浮子流量计 三路浮子量程分别为 10-100cc/min. 16-160cc/min. 25-250cc/min 内部安装有一混气罐 |
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尺寸 |
炉体尺寸:550x380x520mm 混气系统尺寸:600x600x597mm |
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净重 |
约60kg |
| 开门断电 |
为保证使用安全，该电炉为开门断电设计 |
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运输重量 |
200 |
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质保期 |
一年质保期（不包括炉管、加热元件和密封圈的损耗件） CECertificate |
| 使用注意事项 | 炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） |
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