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三温区1500℃ PECVD系统OTF-1500℃III-4CV-PE-SL
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厂家： 日期：：2020-06-23 浏览次数：
三温区1500℃ PECVD系统OTF-1500℃-III-4CV-PE-SL
三温区1500℃ PECVD系统OTF-1500℃-III-4CV-PE-SL 的详细介绍OTF-1500℃-III-4CV-PE-SL是一款三温区1500℃的PECVD管式炉系统，它是由500W的射频电源，1500℃三温区管式炉、多通道质子混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统对于生长纳米线、石墨烯或SiC薄膜是一个新的实验帮手。
技术参数
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三温区开启式1500℃管式炉 |
额定温度1500℃
连续使用温度1400℃
三个温区分别由三个温控系统来控制，都可设置30段升降温程序
每个温区长度为200mm
总温区长度为600mm
炉管为高纯刚玉管
炉管尺寸：（标配）60 O.Dx53 I.Dx1500mmL
炉管尺寸：（选配）80 O.Dx73I.Dx1500mmL
输入电源： 208 – 240VAC，单相
功率：6、6KW
配有一对不锈钢真空密封法兰，法兰上带有石英观察窗口
内炉膛表面涂有美国的1760度高温氧化铝涂层，可以提高设备加热效率及反射率，同时延长仪器的使用寿命。（点击图片查看详细资料）
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射频电源
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输出功率:5-500W ± 1%. 射频频率:13、56MHz ±0.005%. 反射功率: 200W 匹配: 自动 射频接口:50 Ω,N-type 噪音:<50 dB. 冷却: 风冷. 电源:AC208-240V,50/60Hz |
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防腐型真空计 |
输入电源 24V，1ASGM（配有一电压转换器）
测量范围 3、8x10-5-1125Torr.
数据显示数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr
接头 1/8"NPT 接头
电炉尺寸 46mm×28mm×126mm(LxWxH)
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真空系统 |
采用TRP-12的双旋真空泵, 极限真空10E-3Torr
KFD25快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连.
管内真空可达10E-2Torr
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质量流量计混气系统 |
四个精密的质量流量计(精度1、5%) ：数字显示，自动控制.
MFC1范围:0~100sccm
MFC2和3:0~200sccm
MFC4范围:0~500sccm
一个混气罐，底部装有泄废液口.
4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体.
进气口:4个1/4NPS.
出气口:4个 1/4NPS.
采用PLC控制流量计，通过触摸屏进行控制
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温控系统 |
三个温区分别由三个温控系统控制
采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序
带有超温和断偶保护
控温精度：+/-1 ºC
控温仪表操作视频
可选;此款设备可以安装控制模块，将温度设置和温度曲线导入到电脑
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外型尺寸 |
炉体：550x380x520mm 炉体下端移动柜：1800×600×600mm 净重：220Lbs. 运输重量：1200lbs |
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质保期 |
一年质保期，终身维护，相关耗材除外如炉管，密封圈等易耗件 |
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CE认证
所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA认证
若客户出认证费用，本公司保证单
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