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三温区1500℃ PECVD系统OTF-1500℃III-4CV-PE-SL
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三温区1500℃ PECVD系统OTF-1500℃III-4CV-PE-SL

厂家: 日期::2020-06-23 浏览次数:

三温区1500℃ PECVD系统OTF-1500℃-III-4CV-PE-SL

三温区1500℃ PECVD系统OTF-1500℃-III-4CV-PE-SL 的详细介绍

OTF-1500℃-III-4CV-PE-SL是一款三温区1500℃的PECVD管式炉系统,它是由500W的射频电源,1500℃三温区管式炉、多通道质子混气系统和真空系统组成。此款PECVD系统对于生长纳米线、石墨烯或SiC薄膜是一个新的实验帮手。

技术参数

三温区开启式1500℃管式炉

额定温度1500℃ 连续使用温度1400℃ 三个温区分别由三个温控系统来控制,都可设置30段升降温程序 每个温区长度为200mm 总温区长度为600mm 炉管为高纯刚玉管 炉管尺寸:(标配)60 O.Dx53 I.Dx1500mmL 炉管尺寸:(选配)80 O.Dx73I.Dx1500mmL 输入电源: 208 – 240VAC,单相 功率:6、6KW 配有一对不锈钢真空密封法兰,法兰上带有石英观察窗口 内炉膛表面涂有美国的1760度高温氧化铝涂层,可以提高设备加热效率及反射率,同时延长仪器的使用寿命。(点击图片查看详细资料)

射频电源

输出功率:5-500W ± 1%. 射频频率:13、56MHz ±0.005%. 反射功率: 200W 匹配: 自动 射频接口:50 Ω,N-type 噪音:<50 dB. 冷却: 风冷. 电源:AC208-240V,50/60Hz

防腐型真空计

输入电源 24V,1ASGM(配有一电压转换器) 测量范围 3、8x10-5-1125Torr. 数据显示数字显示(屏幕尺寸为20x14mm),其数据显示单位为torr 接头 1/8"NPT 接头 电炉尺寸 46mm×28mm×126mm(LxWxH)

真空系统

采用TRP-12的双旋真空泵, 极限真空10E-3Torr KFD25快接,不锈钢波纹管,手动挡板阀与法兰,真空泵相连. 管内真空可达10E-2Torr

质量流量计混气系统

四个精密的质量流量计(精度1、5%) :数字显示,自动控制. MFC1范围:0~100sccm MFC2和3:0~200sccm MFC4范围:0~500sccm 一个混气罐,底部装有泄废液口. 4个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧,可手动控制4种气体. 进气口:4个1/4NPS. 出气口:4个 1/4NPS. 采用PLC控制流量计,通过触摸屏进行控制

温控系统

三个温区分别由三个温控系统控制 采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序 带有超温和断偶保护 控温精度:+/-1 ºC 控温仪表操作视频 可选;此款设备可以安装控制模块,将温度设置和温度曲线导入到电脑

外型尺寸

炉体:550x380x520mm 炉体下端移动柜:1800×600×600mm 净重:220Lbs. 运输重量:1200lbs

质保期

一年质保期,终身维护,相关耗材除外如炉管,密封圈等易耗件

CE认证 所有电器元件(>24V)都通过UL / MET / CSA认证 若客户出认证费用,本公司保证单

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