1200°C三温区九通道混气高真空CVD系统OTF-1200℃-4-III-9HV

1200°C三温区九通道混气高真空CVD系统OTF-1200℃-4-III-9HV 的详细介绍

OTF-1200℃-4-III-9HV是一款CE认证的九通道高真空三温区CVD系统，齐炉管直径为4英寸，它是由九通道质量流量控制器和高真空机组组成，其额定温度可达1200℃，极限真空可达to10^-5torr，混气系统可以对1-9种气体进行的混气，然后导入到管式炉内部，用来研究气体环境对材料的影响。

技术参数

管式炉	壳体	采用双层壳体结构，并带有风冷，使得壳体表面的温度小于60度 保温材料采用高纯氧化铝纤维，可以环保节能，减少热量的损失 内炉膛表面涂有美国的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命 三个温区，可以立控温 真空机组和气体流量供气系统位于移动加上，方便移动.
	加热元件	Fe-Cr-AlAlloydopedbyMo,（电阻丝表面涂有氧化锆涂层，使其延长加热元件的寿命）
	额定温度	1200°C
	连续工作温度	1100°C
	升温速率	≤20°C/min
	加热区长度	总温区长度:(880mm,35"intotal) 温区1:220mm+温区2:440mm+温区3:220mm
	恒温区	500mmL(三个温区在同一温度within+/-1°C) 注：由于测量手段及外部环境的影响，测量结果可能会有偏差，此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买电炉需要准确的恒温区数据，请与我公司销售人员联系
	炉管尺寸和材质	材质：高纯石英管 100mmO.Dx92mmID.x1400mm
	温控系统	三个数字精密温度控制器，可设置50段升降温程序，每个温区可以进行立控温 PID调节与自动调整功能,确保温度稳定在+/-1oC 带有过热和断偶保护 控温仪表操作视频
	热电偶	3根K型热电偶
	输入电源	AC208~240V,单相,50/60Hz,功率：7KW
真空配件	标准的真空配件包括 两个不锈钢真空密封法兰与kf25抽气接口 两个精密针阀和一个1/4“软管接头 6个高温硅胶O型密封圈，额定可承受温度300°C 为了防止热量以热辐射的形式散失，高温损坏密封圈，炉子在加热前必须放入氧化铝管堵 一根KF-40抽真空波纹管 三个KF-40快速卸装卡箍 2个KF-25快速卸装卡箍
高真空机组	结构	壳体尺寸:600(L)x600(W)x700(H),mm 承载量:600Lbsontop 分子泵显示屏:LCD数字显示 内装有一PfeiffervacuumpumpmadeinGermany
	真空传感器	真空传感器有一个kf25接口 可选：本公司的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3、8x10-5 至 1125Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片查看详细介绍）
	控制面板	一键操作：按下"start" 键后，隔膜泵和涡轮分子泵将会启动（隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后，分子泵自动启动） 系统控制旋转速率：根据炉体内的真空度，系统自动控制旋片泵的旋转速率
	抽气速率	N233L/s He39L/s(2340L/minute) H232L/s
	工作范围	1000mbarto<1E-7 mbar
	极限	10^-5torr(withtubefurnace)
	输入电源	110VACor220VAC可切换的,50/60Hz
	消耗功率	持续时间/功率:100-110Watt
MFC质量流量控制器	9通道精密质量流量控制器，安装在移动架上，并带有数字显示 3MFC范围10-1000scc 3MFC范围20-200scc 3MFC范围30-10scc 三个压力表分别安装在底部移动架的质量流量控制系统上，用来检测混合气体的压力
运输信息	炉子尺寸:550x380x520mm 质量流量控制器尺寸:600x600x700mm 高真空机组尺寸:600x600x700mm
重量	净重:100Kg 运输重量:350lb(twopallets)
	一年质保期，相关耗材除外如炉管，密封圈，加热元件等易耗件
质保期	CE Certificateed
使用注意事项	炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

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