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滑动式双温区PECVD系统OTF-1200℃II-4CV-PE-SL-UL
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厂家： 日期：：2021-01-27 浏览次数：
滑动式双温区PECVD系统OTF-1200℃-II-4CV-PE-SL-UL
滑动式双温区PECVD系统OTF-1200℃-II-4CV-PE-SL-UL 的详细介绍
OTF-1200℃-II-4CV-PE-SL 是一款滑动式双温区PECVD 管式炉系统。该系统包含500W等离子源,80Dx1600Lmm 滑动式双温区管式炉,4通道质量流量供气系统和机械泵机组，这款 PECVD系统可用于生长纳米或石墨烯。
滑动式双温区PECVD系统技术参数
| 电炉名称 | 滑动式双温区PECVD系统 | ||
| 设备型号 | OTF-1200℃-50-II-4CV-PE-SL-UL | OTF-1200℃-80-II-4CV-PE-SL-UL | OTF-1200℃-130-III-4CV-PE-SL-UL |
| 炉管尺寸 |
2"(50mm)ODx1、7"IDx71"L |
3、14"(80mm)ODx2、83"IDx71''L |
5"(130mm)ODx4、8"IDx84''L |
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电炉点 |
与传统的CVD相比，只需较低的制备温度 .滑轨式可快速加热和快速冷却 两个加热区，温度梯度可达 200ºC 额定温度1100°C 提供一个宽范围的材料制备，如碳和 ZnO 纳米管或纳米线以及单层石墨烯。 内炉膛表面涂有美国的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命 | ||
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等离子发射源 |
输出功率:5-500W&±1%. 射频频率:13、56MHz&±0.005%. 反射功率: 200W 匹配: 自动 射频接口:50Ω,N-type 噪音:<50 dB. 冷却: 风冷. 电源:AC208-240V,50/60Hz | ||
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真空泵机组 |
我公司有多种真空泵可选，请点击图片，或是致电我公司销售 KFD25 快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连. 管内真空可达10E-2Torr 防腐型真空计( 美国) 安装在左法兰上. 本公司的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3、8x10-5 至 1125Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片查看详细介绍） | ||
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质量流量计 |
四个精密的质量流量计(精度0.02%) ：数字显示，自动控制. MFC1范围:0~100sccm MFC2和3:0~200sccm MFC4范围:0~500sccm 一个混气罐，底部装有泄废液口. 4 个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体. 进气口:4个1/4NPS. 出气口:4个 1/4NPS. |
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控温软件 |
计算机可以通过控温软件控制炉子：RS485 接口和软件是免费的，但需要购买数据线和一个控制模块 为了获得较大的升温速度, 必须预热到设定温度，然后将炉子滑到样品位置。 为了获得较快的降温速度,可将加热的炉子从热区滑到冷区. | ||
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总尺寸 |
炉体:550x380x520mm 滑轨:1750mm 长 移动架:1200x1200x600mm. 净重:220Lbs. 运输重量:500lbs. | ||
| 开门断电 |
为保证使用安全，该电炉为开门断电设计 |
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质保期和认证 |
一年质保期 (耗材部分：如炉管，“O”型高温密封圈，加热元件等不在保修范围） CE认证 所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA认证 若客户出认证费用，本公司保证单 |
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可组合式等离子增强化学气相沉积装置 |
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| 使用注意事项 | 炉管内气压不可高于0.02MPa 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击 石英管的长时间使用温度＜1100℃ 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） | ||
