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氢气炉
氢气炉主要是用于半导体材料、纳米材料、光线材料等在氢气保护下的各种个复杂工艺，具有多种工艺气体的流量控制。是科研、数学、生产、新材料研发的重要设备。
氢气炉 的详细介绍
氢气炉简介
- 用工业微机对工艺时间、温度、气体流量、阀门动作、反应室压库和实现自动控制
- 采用压力控制系统、闭环控制、稳定性高
- 采用耐腐蚀不锈钢管件、阀门确保气路密性
- 具有完善到额报警功能及安全互锁装置
- 具有良好的人机界面、灵活的工艺性能
技术参数
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控制精度 |
±1℃ |
电网电压 |
380V±10% |
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工作温度 |
8001700℃ |
冷却系统分置 |
出料口及加热炉体两侧 |
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温度均匀性 |
±5℃ |
报警功能 |
超温、断水、断电报警 |
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保护气体 |
H2、N2 |
温控方式 |
自动/手动 |
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真空度 |
-0.1Mpa |
进料方式 |
电动/手动 |
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炉膛尺寸 |
160×166马蹄形管（可定制） |
功率 |
≤80KW |
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炉门、进出料口材质：310不锈钢 |
可通多种气体：氧气、氮气、氩气、氢气 |
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微电脑控制、操作方便，可编程，自动升温，自动保温，自动降温 |
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备注：可选配系统：1、自动泄压进气系统；2、混气供气系统；3、真空机组；4、USB系统，无纸记录仪，随机打印系统；5、坩埚；6、1900型材料
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