关于RTP炉子

·炉体结构:双层Al2O3纤维钢构，无需水冷或风冷,

·内炉膛表面涂有美国的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命

·加热元件: 8根红外灯管(D=10L=300T=200,mm)

·加热区: 4"℃12"length（+/-5oC）

·石英管: 4、33"O.Dx4、05"I.Dx15"Length

·真空法兰:不锈钢制作，带有水冷接口和针阀，双层高温”O“型圈密封。长时间在>900oC条件下运行必须采用水冷

·循环水流量:0.5m³/hr

·温控仪:通过可控硅（SCR)PID自动控制

·带自整定功能的30程序控制

·具有过热保护和断偶保护功能

·控温精度:+/-0.5oC

·RS485接口可与电脑连接

·包含软件(要求Window℃P/7系统)

·*快升温速度:室温~800℃：50oC/sec，800℃~1000℃10oC/sec

·工作温度:额定1100oC

·功率:208-240AC,50/60Hz单相,9KWMax.(>60A保险)

·尺寸:760℃330℃530mm(30"Wx13"Lx21"H)

·重量:45kg(100lbs)

关于真空泵和气体流量计

·3个气体流量计(量程40-400cc/min，精度4%FS)安装在移动架底部,显示每路气体的流量。

·高速真空泵2TW-4C-220v（真空度可达f10-2torr）.通过橡胶管与RTP炉子相连.

·4个不锈钢针阀（移动架的侧面）分别控制3路进气和一路混合气。

·4个压力表（移动架的正面）分别显示每路气体和混气的压力。

·尺寸:600mm(L)x600mm(W)x597mm(H)

·重量:210lbs

·保修期:一年质保期(耗材：如炉管,“O"型圈和红外灯等不在保修范围内）

免责声明

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