名称

规格

双温区真空管式炉CVD系统 CVD1200C 600D245II LV

三温区真空回转炉

炉管尺寸

炉管材质：310S

尺寸：Φ245*210*750mm

主要参数

额定温度: 1200℃(使用时必须通入惰性气体以防止炉管发生形变)

工作温度: 900℃（配套金属管为310S才是）

推荐升温速率:≤10℃/min

加热区长度: 750mm

额定功率：7KW

电压：单相AC 208 - 240V, 50Hz

炉体结构

双层空气冷却钢壳保持炉表面温度低于60°C

高纯状氧化铝纤维绝缘层，额定限度节约能源

炉膛和加热元件上的特殊耐火涂层可延长炉子的使用寿命

温控系统

模糊PID控制和自整定调节功能

智能化30段可编程控制

具有超温及断偶报警功能

控温精度: ±1 ℃

K型热电偶

可安装PC控制软件对数据进行实时采集（需另购）

温控仪表（可选）

标配仪表品牌为宇电，可指定其他品牌温控仪表，如岛电等。

管堵

多种规格管堵，防止来自内部管子的热辐射，管堵在加热前必须完全放入炉腔。石英管堵满足洁净实验环境或者较高真空需求

密封系统

该设备炉管为单端封口设计，法兰安装于一端，侧开门式设计。（包括精密针阀、指针式真空压力表、软管接头）

如需获得较高的真空度，建议采用不锈钢波纹管连接及数显真空计（需另外订购）

出气端配备磁流体密封装置，容许设备在连续真空条件下工作。

备注：本公司标配法规格如下进气端Φ6卡套接口，可连接Φ6不锈管或者聚四氟管。

出气端预留KF25接口，方便连接真空泵，KF16接口，方便连接数显真空计，以及Φ9气嘴接头，以便出气

扩展端口

如进气管道为橡胶软管，则需将进气口更换成Φ9气嘴接头

真空度

双极旋片机械泵：10^-1Pa

分子泵机组：10^-3 Pa

可选配本公司配套高低真空

外形尺寸

650mm(L) ×450mm(W) × 550mm(H)

净重

40Kg

真空系统

LVU-10

壳体尺寸

600(L)x600(W)x750(H)mm

额定承载量

1000Lbs

抽气速率

10m³/h

极限真空度：10^-1Pa

双层立式油污过滤器(PE材质）与真空泵连接

质保期

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1、耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

相关应用

炉膛内衬可以单更换（额外付费）

可以根据要求设计成带有滑动法兰的炉子

应用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa

由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精度安全

当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

石英管的长时间使用温度＜1100℃

对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）