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真空系统-分子泵
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真空系统-分子泵

厂家: 日期::2020-07-02 浏览次数:

分子泵高真空系统由双级旋片真空泵,涡轮分子泵,真空传感器,分子泵控制器及电气控制等部分组成。抽气口及气路连接口采用KF式快速连接结构,简化安装过程; 搭配我公司生产的真空管式电炉,只需一支卡箍便可完成连接,方便操作。是高温真空烧结、CVD实验、真空退火、材料处理等要求高真空的获得设备之一。

结构特点:

1、系统启动快,抽气时间短,可获得无油污染的清洁真空环境;

2、真空度显示采用科学计数法,数字显示,使用方便直观;

3、测量精度高、稳定性好、抗干扰能力强;

4、系统操作简单,方便;

5、可抽吸无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体,吸入气体中允许混有少量液体。

6、配合HQZ混气系统,一体式炉架结构,可移动,组合、安装方便快捷。

主要用途和适用范围:

用于高温气氛烧结、气氛还原、CVD/CVI实验等精密气体的流量控制。

注意:严禁氢气和氧气同时供气,保证安全

技术参数:

常规型号

ZK-F

真空范围

0.1-0.001Pa

抽 速

110L/S

极限真空

5、0*10^-5Pa

产品配置

双级旋片真空泵+涡轮分子泵

测量方式

复合真空计

真空规管

电阻规+电离规

冷却方式

风 冷

工作电源

AC220V,50/60Hz

标准配置

波纹管1根,真空角阀1个,卡箍3个,真空计1套


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