分子泵机组VAU-05

　　该系统由德国原装的前级无油泵，后级分子泵，真空传感器和电子控制系统和LED液晶显示组成，此系统是用来抽吸或压缩空气和其它无腐蚀性、不溶于水、不含有固体颗粒的气体，以便在封闭容器中形成真空和压力，吸入气体中允许混有少量液体。它被广泛用于新能源材料，金属材料，磁性材料，半导体材料，陶瓷材料，电化学，薄膜材料，CVD,PECVD ,石墨烯，硅纳米管，纳米线，等研究领域。由于在工作过程中，气体的压缩是等温的，所以在压缩和抽吸易燃、易爆气体时，不易发生危险，因此其应用更加广泛。