环境温度

5-32℃

空气相对湿度

≤85%

工作电压

AC220V±10%50/60Hz

功率

1KW

系统整体极限真空度

5、0*10-5pa

实验真空度

5、0*10-3pa

外形尺寸

600*600*650mm

主要配置

技术参数

机械泵

抽气速率：4L/S

容油量：1、1L

电机功率：400W

极限压强：6×10^-2Pa

分子泵

抽气速率：100L/S

极限压强：6×10^-6Pa

启动时间：＜2min

额定转速：4300转/分

冷却方式：环境温度5-32℃时，风冷；5-40℃时，水冷。

分子泵控制器

电压：220V±22V

启动电流：≤7A

输入频率：47HZ—63HZ

额定输出功率：≤150W

额定加速电压：≤40V

加速时间：≤3min

频率（双速）：高速705HZ±10HZ

低速430HZ±5HZ

复合真空计

测量路数：2路（电阻规、电离规各1路）

工作模式：手动/自动

电阻单元参数

规管型号：ZJ-52T电阻规

测量范围：1、0×10⁵Pa~1、0×10^-1Pa

有效范围：2、5×10³Pa~5、0×10^-1Pa

控制范围：2、5×10^>3Pa~5、0×10^-1Pa

电离单元参数

规管型号：ZJ-27电离规

可测范围：5、0Pa~1、0×10^-5Pa

有效范围：1、0Pa~5、0×10^-5Pa

控制范围：1、0Pa~5、0×10^-5Pa

规管除气方式：焦耳去气

其他参数

控制路数：4

控制方式：点动或区域控制/带掉电记忆

控制精度：±1%

采样时间：1S

电源：220V±10%50HZ

功耗：50W

使用环境温度：0℃~45℃

湿度：≤85%

连接管路

采用全不锈钢，电抛光制作，零件焊接漏率于1、0×10^-9Pa.m³/s