简介：

本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜），仪器操作简单方便，是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。

技术参数：

玻璃处理室：

Φ100mm、高度130mm

试样台尺寸：

Φ40mm可同时放6个样品杯

金靶尺寸：

Φ58mm

真空系统：

直联旋片真空泵2L/S

真空检测：

皮氏计

真空保护：

20Pa配有微量充气阀调节工作真空

工作室工作媒介气体：

空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量充气调节

双级旋片式真空泵RVD-2：

抽速：2L/S

极限压力：5×10^-2Pa