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双炉膛滑动CVD控制系统 TF-1200℃-II-SL-210
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主要特点：
1、滑轨式快速升温炉是专为生长石墨烯研制的石墨烯生长专用炉，也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验。
2、这款设备操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率。
3、此款设备提供两个立滑动的温场，两温场立控制，可在实验过程中推进或推离样品，提供两个位置的快升降温。
4、真空和设备采用模块化设计，便于维护保养。
5、采用触摸屏和工控电脑自动控制，参数设置和操作直观方便，参数自动记录保持。
Technical Parameters
技术参数
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Power 输入电源 |
·Power rated: 16KW ·额定功率：16KW |
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Voltage 电压 |
·Voltage rated: AC220-380V 50/60HZ ·额定电压：AC220-380V 50/60HZ |
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Working Temperature 工作温度 |
·Max. Temperature: 1200°C ( 1 hr) 额定温度：1200℃ (1小时) ·Continuous working temperature: ≤1100℃ 持续工作温度：≤1100℃ ·Max. Heating/collingRate: ≤20°C /S 额定升/降温速率：≤20℃/秒 |
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控温方式 |
·PID automatic control andauto-tune function. 触摸屏控制加PLC控制和和模糊PID自整定调节 ·30 programmable segments for precise thermal processing. 智能化30段可编程控制 ·Built-in protection for the over-heated and broken thermocouple. 超温和断偶报警功能 |
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Length of heating zone 加热区长度 |
·500+500mm |
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Length of constant zone 恒温区长度 |
·200+200mm |
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Heating Elements 加热元件 |
·Resistance wire, Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo ·电阻丝（掺钼铁铬铝合金） |
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Temperature Accuracy 控温精度 |
+/- 1°C |
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Processing tube 炉管 |
·Φ210*2000mm(optional) ·Two tube blocks are included for blocking heat radiation generated from tube center，must be fully inserted into the furnace chamberbefore heatingin the correct position(quartz or ceramic optional). 两个管堵阻挡管中心产生的热辐射，必须在加热前塞进炉膛的正确位置（石英货氧化铝管堵可选） |
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Dimensions 尺寸 |
·Furnace size : 2700*1500*1650mm(L*W*H without tube & flange) ·电炉尺寸：2700*1500*1650mm(长*宽*高 不含炉管和法兰)
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Net Weight 净重 |
580kg |
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真空法兰 |
·KF25-16quick clamp flange 两端为KF25-16快速卡箍法兰
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Vacuum Pressure 真空压力 |
·133torr can be achieved by mechanical pump 机械泵可达133torr（1pa） ·10^-6 torr can be reached by molecular pump 分子泵可达10^-6torr（10^-3pa）
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