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主要特点
VT系列立式真空管式炉特殊设计的移管装置,可自动将炉管移出炉腔,方便更换炉管和取放物料,并能实现快速降温。这款设备的特设计使得升温速率高达100℃/min,是一款实实在在的快速升降温炉。炉管内设高温金属屏蔽罩,可以有效的隔离干扰,内部有12根电极可以自由测试连接,热电偶直接测样品的位置,有效保证样品的温度准确性。管内设计了微妙的气氛喷射器可将实验所需气氛直接喷射在物料处,有助于反应更充分,样品平放在内管上可以实现内管和外管同时通气体,平放的样品有助于薄膜生长,电极测试,温度更均匀。该设备也具有作为氧化物晶体生长、退火等功能。
技术参数
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