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主要特点
此套设备是SGM TF-1200C的开启式真空管式炉和前端配有可加热到400℃的预加热器,辅助硫粉蒸发,后端为双温区硫化炉,温度控制精度,操作简便。左端配有法兰支撑架可将预热器和硫化炉分开使用。右端可配气氛微调装置,可以准确的反应炉体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常实用,重复性好。
技术参数
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