MASS FLOW CONTROLLER（质量流量计，缩写MFC）气体质量流量计七星华创气体质量流量计D07/scc/

厂家：日期：：2020-07-09 浏览次数：

常规型号	D07-7B
产品类型	N2其他气体校准的DOC可按要求订购交货时间为4周
流量量程	5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm(可选)
产品精度	±1、5％F.S.
重复精度	±0.2%FS
线性	±1％F.S.
响应时间	≤10sec
工作温度范围	(5~45)°C
耐压	3MPa
密封材料	氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶)Neoprene
输入输出信号	(0~5)VDC
电源	±15V
阀类型	常闭
温度系数	-无-
零点飘移指标	-无-
电气连接	Dsub15pinsFemale
工作压差范围	(0.1～0.5)MPa
漏率	1×10-8atm•cc/secHe（1×10-9Pa•m3/secHe）
标准接头形式	双卡套1/8”(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ3(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头
表面化学成分	-无-
表面粗糙度	-无-
抗电磁干扰	CE
重量	1、1kg

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