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二维硫化钼设备 TF-1200℃
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二维硫化钼设备 TF-1200℃

厂家: 日期::2020-07-09 浏览次数:

  主要特点

  此套设备是SGM TF-1200C的开启式真空管式炉和前端配有可加热到400℃的预加热器,辅助硫粉蒸发,后端为双温区硫化炉,温度控制精度,操作简便。左端配有法兰支撑架可将预热器和硫化炉分开使用。右端可配气氛微调装置,可以准确的反应炉体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常实用,重复性好。

  技术参数

硫粉预热器

型号:SGM TF-400C

工作温度:400℃

额定温度:1100℃

蕞快升温速率:30℃/min

推荐升温速率:10℃/min

控温方式:智能化30段可编程控制

工作电压:AC220V

额定功率:800W

控温精度:±1℃

加热元件:电阻丝

尺寸:260*320*500mm

硫化炉

额定功率(KW):3

额定电压(V):AC220v50/60Hz

额定温度(℃):1200(1hour)

持续工作温度(℃):1100

升温速率(℃/min):≤50

炉管尺寸(mm):

高纯石英管Φ50×1200mm

加热区长度(mm):440mm

恒温区长度(mm):200mm

控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

控温精度(℃):±1

加热元件:电阻丝

电炉尺寸:590*380*500mm

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