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磁力推拉式二维材料制备CVD设备
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磁力推拉式二维材料制备CVD设备

厂家: 日期::2020-07-09 浏览次数:

  主要特点

  成熟的双温区硫化炉,配有磁力拉杆和石英蒸发舟,配合蒸发舟处的内探热电偶,可实现在实验过程中将固态源(如硫粉、硒粉等)推进加热区的同时可检温度,准确把握硫族元素蒸汽送入的时机,避免过早导致钼源表面形成硫化外壳难以升华或者过迟导致衬底表面钼源硫化不足。

  技术参数


双温场管式炉SGM TF-1200C-II

额定功率

3kw

炉管尺寸

高纯度石英管Φ50/60/80-100x1000mm

(可选)

极限温度

1200℃

工作温度

≤1100℃

温度控制器

PID自动控制晶闸管(可控硅)输出功率,30段可编程控制器

蕞快升温速率

≤10℃/min

加热区

200+200mm

恒温区

100+100mm

控温精度

±1℃

电源

单相220V,交流50Hz

3路质量流量供气系统

额定电压

185~245V/50Hz

额定输出功率

18W

流量计标准量程

100,200,500SCCM;(非特殊指定以氮气标定,量程可选定

工作温度

5~45ºC

工作压差

0.1~0.5MPa

额定压力

3MPa

测量范围

-0.1~0.15MPa(0.01MPa/grid)

气特性

气特性:1~4Sec,电特性:10Sec

重复精度

±0.2%

准确度

±1、5%FS

针阀

316不锈钢

混气罐

Φ80×120mm

截止阀

Φ6mm”316不锈钢针阀

尺寸

600*600*650mm

低真空系统

空气相对湿度

≤85%

工作电电压

220V±10%50~60HZ

功率

500W

抽气速率

8m³/h

极限真空

4X10-2Pa

实验真空度

1、0X10-1Pa

容油量

1、1L

进气/排气口径

KF25

噪音

50dB

外形尺寸

600×600×600mm

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