硫化设备

额定功率（KW）：5

额定电压（V）：AC208-240VSinglePhase，50/60Hz

额定温度（℃）：1200（1hour）

持续工作温度（℃）：1100

额定升&降温速率（℃/S）：≤20

炉管尺寸（mm）：高纯石英管Φ50，60，80，100×1400

加热区长度（mm）：440

恒温区长度（mm）：150（精度±1℃）

控温方式：模糊PID控制和自整定调节，智能化30段可编程控制具有超温和断偶报警功能

控温精度（℃）：±1

供气系统（品牌：贝意克）

GMF3Z

（质子流量计）

重量：35Kg

外形尺寸：600x600x650mm

连接头类型：双卡套不锈钢接头。

标准量程（N2)：50sccm、200sccm、500sccm；（可根据用户要求定制）

准确度：±1、5%

线性：±0.5～1、5%

重复精度：±0.2%

响应时间：气特性：1～4Sec，电特性：10Sec

工作压差范围：0.1～0.5MPa

额定压力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

显示：4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管：Φ6

压力真空表：－0.1～0.15MPa,0.01MPa/格

截止阀：Φ6

低真空机组VAU-02

技术参数：

空气相对湿度≤85%，

工作电电压：220V±10%50~60HZ

功率：1千瓦

抽气速率：4L\s

极限真空：4X10-2Pa

实验真空度：1、0X10-1Pa

容油量：1、1L

进气口口径：KF25

排气口口径：KF25

转速：1450rpm

噪音：50dB

外型尺寸:600×600×600mm