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前端预热法硫化钼制备设备
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前端预热法硫化钼制备设备

厂家: 日期::2020-07-09 浏览次数:

  主要特点

  前端配有可加热到400℃的预加热器,辅助硫粉蒸发,后端为双温区硫化炉,温度控制精度,操作简便。并配有气氛微调装置,可以准确的反应炉体内部的气体压力,带刻度的调节阀对于做低压CVD非常实用,重复性好。

  技术参数

硫粉预热器

型号:SGM TF-400C

工作温度:350℃

额定温度:400℃

蕞快升温速率:30℃/min

推荐升温速率:10℃/min

控温方式:智能化30段可编程控制

工作电压:AC220V

额定功率:800W

控温精度:±1℃

加热元件:电阻丝

硫化炉

技术参数:

额定功率(KW):3

额定电压(V):AC220v50/60Hz

额定温度(℃):1200(1hour)

持续工作温度(℃):1100

升温速率(℃/min):≤50

炉管尺寸(mm):

高纯石英管Φ50×1200mm

加热区长度(mm):440mm

恒温区长度(mm):200mm

控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能

控温精度(℃):±1

加热元件:电阻丝

供气系统GMF3Z

(质子流量计)

重量:35Kg

外形尺寸:600x600x650mm

连接头类型:双卡套不锈钢接头。

标准量程(N2):50sccm、200sccm、500sccm;(可根据用户要求定制)

准确度:±1、5%

线性:±0.5~1、5%

重复精度:±0.2%

响应时间:气特性:1~4Sec,电特性:10Sec

工作压差范围:0.1~0.5MPa

额定压力:3MPa

接口:Φ6,1/4''

显示:4位数字显示

工作环境温度:5~45高纯气体

内外双抛不锈钢管:Φ6

压力真空表:-0.1~0.15MPa,0.01MPa/格

截止阀:Φ6

低真空机组VAU-02

空气相对湿度≤85%,

工作电电压:220V±10%50~60HZ

功率:1千瓦

抽气速率:4L\s

极限真空:4X10-2Pa

实验真空度:1、0X10-1Pa

容油量:1、1L

进气口口径:KF25

排气口口径:KF25

转速:1450rpm

噪音:50dB

外型尺寸:600×600×600mm

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