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石墨烯制备设备CVD：1200℃管式炉三路质子流量控制系统
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石墨烯制备设备CVD系统有1200℃管式炉、PE系统、三路质子流量控制系统组成。
石墨烯制备设备CVD系统为我司研发用于材料连续生长的高温设备。此款石墨烯制备设备CVD系统是快速冷却卷对卷等离子体增强CVD连续生长炉，它由高温生长炉体，质量流量计气路系统，真空机组，RF射频电源模块，石英管，冷却装置，收放卷的密封装置，自动化控制系统组成，两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室（即收放卷的密封装置），收放密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮，所输出料排气炉体与炉体之间安装有冷却装置。相对于现有技术具有快速冷却、连续生长的点。
1、加热系统
| 电炉名称 |
SGM 1200℃开启式管式炉 |
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额定温度 |
1200℃ |
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使用温度 |
≤1100℃ |
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炉膛有效尺寸 |
Φ150mm （Φ50、Φ80、Φ100、Φ120炉管直径可根据实际需要定制。） |
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炉膛材料 |
氧化铝、高温纤维制品 |
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热电偶类型 |
K型热电偶 |
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控温精度 |
&±1℃ |
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控温方式 |
30段可编程控温，PID参数自整定，操作界面为7”工控电脑，内置PLC控制程序。 |
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加热长度 |
200+200+200mm |
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加热原件 |
电阻丝 |
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供电电源 |
单相，220V，50Hz |
2、PE系统
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功率输出范围 |
0W~1000W |
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额定反射功率 |
200W |
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射频输出接口 |
50 Ω, N-type, female |
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功率稳定度 |
≤5W |
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谐波分量 |
≤-50dbc |
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供电电压 |
单相交流（187V-253V）频率50/60HZ |
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整机效率 |
>=70% |
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功率因素 |
>=90% |
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冷却方式 |
强制风冷 |
3、三路质子流量控制系统
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连接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
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标准量程（N2) |
200sccm，500sccm、1000sccm （可根据用户要求定制） |
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准确度 |
&±1、5%F.S |
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线性 |
&±1%F.S |
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重复精度 |
&±0.2%F.S |
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响应时间 |
气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec |
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工作压差范围 |
0.1～0.5 MPa |
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额定压力 |
3MPa |
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接口 |
Φ6,1/4'' |
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显示 |
4位数字显示 |
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工作环境温度 |
5~45高纯气体 |
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压力真空表 |
－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
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截止阀 |
Φ6 |
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内外双抛不锈钢管 |
Φ6 |
4、低真空机组
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空气相对湿度 |
≤85% |
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工作环境 |
5℃～40℃ |
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工作电电压 |
380V |
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抽气速率 |
32m³/h |
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极限真空 |
5X10-1Pa（空载冷态） |
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工作压力范围 |
1、01325X105～1、33X10-2Pa |
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进气口口径 |
KF40 |
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排气口口径 |
KF40 |
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连接方式 |
采用波纹管，手动挡板阀与波纹管相连 |
