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CVD系统
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CVD系统

厂家: 日期::2020-07-15 浏览次数:
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○ 产品介绍

一体式CVD系统设计紧凑,使用方便。特别是丰富的图文界面,即使您是次操作,该系统也能顺利引导您很快掌握该CVD系统的使用和操作,您根本无需专业学习,为您节省大量的科研时间,真正做到事倍功半!


○ 适用范围

可以满足日常的大多数CVD实验和各种科研要求。是材料制备过程中的不错之选。


○ 产品特点

1、丰富的图文信息:全尺寸液晶图文界面

2、系统高度集成:各个部分均由软件协同进行数据采集、交换、处理、输出

3、可使实验步骤程序化、自动化


○ 技术参数

工作电压:AC220/AC110V

工作频率:50Hz/60hz

工作温度:25℃~1100℃


测量精度:0.1℃

控温精度:±1℃

加热区长:400mm

恒温区长:200mm

射频频率:13、56MHz

射频功率:0~500W(可调节)

匹配模式:自动匹配

气体通道:3通道

气体测量:质量流量计

量程范围:0~500SCCM

真空设备:分子泵组

真空测量:复合真空计



○ 免责声明

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