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三温区CVD气相沉积系统
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加热温度
三温区立控温
密封方式
水冷式真空法兰
温区长度
L:190mm;M:250mm;R:190mm;
真空系统
防返油式双极旋片泵
工作温度
L:1300℃;M:1600℃;R:1300℃;
系统真空
5～10Pa（如需更高真空度可选配其它泵）
加热炉管
高纯刚玉外径60mm，长度1300mm
制冷方式
9L水冷机
气体通道
三通道质量流量计
控温系统
多段可编程智能控温，控温精度±1℃
气体量程
A:100SCCM;B:300SCCM;C:500SCCM
供电电源
AC:220V50Hz
真空检测
数字真空计
备 注
如有其它要求可按要求定制
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