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FJ-110型系列分子泵机组是由F-100-110型系列各性能涡轮分子泵,前级机械泵,电阻规/电离规复合型真空计,隔断放气阀,前级管路、分子泵电源,控制电源等组装于机架而成的清洁超高真空获得设备。安装方便,操作简单,易于联接,性能可靠,可匹配各型号西格马SGM管式炉用于表面分析,半导体设备,等离子体技术,电真空器件的制造及真空技术各领域。
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