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1200度氢气管式炉CVD系统
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详细技术参数
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SGM1200 管式炉 |
型号 |
SGM1200-H-I |
SGM1200-H-II |
SGM1200-H-III |
SGM1200-H-IV |
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功率 |
3、5KW |
3、5KW |
3、5KW |
5KW |
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| 炉管尺寸 |
高纯石英管:60/80-100-150*1000mm(管径可选） 两边各放置一个炉塞，炉塞可以阻挡炉管中心的热辐射，必须在加热前放置在炉膛的正确位置 |
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外形尺（LXDXH） |
1700X800X1500 |
1700X800X1500 |
1700X800X1500 |
1700X800X1500 |
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电源电压 |
220V |
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相数 |
单相 |
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加热元件 |
国产质电阻丝 （可选配瑞典 Kanthal A1电阻丝） 点击进入资料下载 |
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控制方式 |
采用宇电程序控温仪表（标配） 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1200度或热电偶烧断时， 主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能
（更换仪表，需要另外付费，选购）
FP93控温仪表 欧陆仪表 触摸屏仪表 （岛电） |
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控温模式 |
智能PID |
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断偶保护和显示 |
有 |
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过温保护 |
有 |
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过流保护 |
有 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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触发器 |
移相触发 |
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电器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106-16E 德国西门康 |
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额定温度 |
1200 ℃ |
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额定温度 |
1100 ℃ |
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升温速率 |
≤30 ℃/ Min （可根据要求修改） |
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推荐升温速率 |
≤15℃/ Min |
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热电偶型号 |
K 型 |
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加热段长度 |
440mm |
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恒温区 |
150mm |
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温场曲线 |
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温度校准（选配） |
定期对管式炉进行温度校准，可保持炉温的准确性和均匀性。您可以在本公司选购一套简单的校准工具，辅助您完成这项工作，完整的校准套件包括标准热电偶，温度校准仪，补偿导线
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电器认证 |
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四周表面温度 |
≤45℃ |
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阀门和法兰 |
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防爆系统 |
防爆系统由压力传感器和防爆阀组成， 压力传感器，可在压力控制表上设置报警压力，当炉管内压力大于等于设定的报警压力时，防爆电磁阀会自动启动，并放出炉管内多余的气体。 防爆电磁阀由两个方向相反的单向阀组成，无论是真空还是气氛下都可以关的很好，不漏气，不回流。 |
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氢气探测器
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氢气气体探测器是一种通过催化燃烧式传感器，可以对氢气的易燃易爆性进行检测的安全仪器。具有防爆、防尘的特点，可广泛适用于石油、化工、冶金、煤矿等存储、使用与贮存氢气的场所。 | |||||
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GX供气系统主要参数
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质量流量计
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量程和气体 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型） |
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耐压 |
3MP |
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流量控制精度 |
&±1、0%F.S |
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额定工作（使用）压力 |
0.3MPa |
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线性 |
&±0.5%F.S. |
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重复精度 |
&±0.2% F.S |
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路数 |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路） |
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接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
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系统工作压力范围 |
0.1~0.5 MPa |
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工作温度 |
5-45℃ |
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压力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
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静态混气室 |
Dia50 X 400MM |
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接口 |
Dia6 / 1/4” |
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VS-0.1抽气系统
方案一或方案二任选一个 |
电源 |
220V |
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尺寸 |
650X650X600 / 650X650X300 |
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波纹管 |
KF25X1000mm |
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用该系统抽炉管真空度可达 |
10-1Pa |
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真空挡板阀 |
KF25 |
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VRD-8真空泵 （方案一） |
型号 |
VRD-8 |
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极限分压强 |
5X10-2Pa |
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进排气接口 |
KF25 |
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电机转速 |
1440RPM |
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抽气速率 |
2、2L/S |
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电机功率 |
0.4KW |
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Preiffer ACP15无油多级罗茨泵 （方案二） |
型号 | ACP15 | ||||
| 电源 | AC100-240 50/60HZ | |||||
| 功率 | 450W | |||||
| 重量 | 25KG | |||||
| 额定氦气漏率 | 5 · 10-8Pa m3/s | |||||
| 抽气速率 | 14 m3/h | |||||
| 极限压强 | 0.02Torr | |||||
| 进、排气接口 | KF25 | |||||
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电阻真空计 （方案一） |
型号 |
ZDR-1 |
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功率 |
25W |
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真空度测量范围 |
0.1-105Pa |
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电阻硅 |
ZJ-52T |
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瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷电容真空计 （方案二）
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型号 |
PCG554 |
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输入电压 |
24V1A DC（配有220V变压器） |
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真空计接口 |
KF16 |
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数字显示 |
数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr |
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产品尺寸 |
46mm×28mm×126mm(LxWxH) |
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重量 |
5lbs |
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检测气体 |
可检测各种气体，包括混合气体，测量精度、重复性好。 |
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是否防腐 |
防腐 |
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响应时间 |
≤30ms |
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测量范围 |
3、8x10-5-1125Torr. |
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分子泵机组（选购）
（方案一或方案二任选一个） |
机组输入电压 |
380V /220V |
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波纹管 |
KF40X1000 |
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真空挡板阀 |
KF40 |
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机箱尺寸 |
600X600X600 |
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分子泵 （方案一） |
分子泵型号 |
FJ620 |
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输入电压 |
380V |
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分子泵进气口法兰 |
DN160 |
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分子泵抽气速率L/S（对空气） |
600 |
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分子泵极限压强（Pa) |
6×10-7 |
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冷却方式 |
水冷 |
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冷却水压（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷却水温度 |
<25℃ |
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环境温度 |
0~40℃ |
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建议启动压强 |
<100pa |
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分子泵前级真空TRP-24 (FJ620分子泵必须要配此前级泵) （方案二）
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功率 |
0.75KW |
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电压 |
380V |
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转速 |
1450rpm |
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进气口径 |
KF25/KF40 |
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前机泵抽气速率（L/S） |
6 |
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极限压强 |
4X10-2Pa |
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德国Pfeiffer真空泵 （方案二） |
电压 |
220V |
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功率 |
110W |
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抽气接口 |
KF40 |
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重量 |
150KG |
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前机泵抽速 |
0.9m3/ h |
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抽气速率（N2） |
33L/S |
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复合真空计
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复合真空计型号 |
ZDF |
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电源 |
220V 55W |
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控制精度 |
&± 1% |
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真空计测量范围 |
10-5-105Pa |
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质保期
一年保修，终身技术支持
特别提示：1、耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不在保修期内。
2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
注意事项
1、炉管内气压不可高于0.02MPa
2、由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa
3、进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的气流对热炉管的冲击
4、对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开排气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ，额定温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
这款CVD系统是由3路供气系统+SGM1200氢气管式炉+低真空系统组成
这款管式炉以质电阻丝瑞典（Canthal）为加热元件，采用双层壳体结构和宇电控温仪表，能进行30段程序控温，移相触发、可控硅控制，炉膛采用氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火用的不错产品。
康泰尔电阻丝资料下载
1、瑞典Kanthal A1 电阻丝
Kanthal A1 原丝 电阻丝炉膛
(1)、表面温度高可达1420℃
(2)、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。
(3)、Kanthal电阻丝资料下载
(4)、Kanthal电阻丝网站
(5)、电阻均衡、温场均衡性好
Kanthal A1 电阻丝 电阻均匀 、 加热量均衡
温场效果好
2、安装有空气开关和漏电保护器：
当电路过流或漏电时，空开会自动断开。
3、可以与电脑连接
该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出
4、炉膛
1、真空吸滤成型的质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用技术成型。
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按蕞的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
4、采用4周加热，温场更加均衡
5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的电器）
6、不锈钢支撑架
7、认证
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8、法兰
铰链式法兰（选购） 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰（选购） 水冷法兰（选购）
SGM1200-CVD系统标配
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描叙 |
数量 |
图片 |
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SGM1200管式炉 |
1 套 |
|
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石英管 |
1根 |
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不锈钢法兰 |
1 套 |
|
|
不锈钢炉钩 |
1 个 |
|
|
氧化铝炉塞 |
1对 |
|
|
高温手套 |
1 双 |
|
|
氧化铝坩埚 |
1个 |
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| Ｋ型热电偶 | 1个 |  |
|
485转换接口和软件（选配） |
1 套 |
|
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说明书 |
1本 |
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|
法兰支撑架 |
1 份 |
|
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供气系统 |
1台 |  |
| VS-0.1抽气系统 | 1台 |  |
| 卡套 | 4个 |  |
| 波纹管 | 1支 |  |
| 真空挡板阀 | 1个 |  |
| 钢瓶接头（N代表路数） | N个 |  |
| 阀门接头 | 2 |  |
| 聚四氟乙烯管(N代表路数) | NX5 |  |
厂家哪家好?哪个厂家的质量好啊?
西格马作为专业的厂家，具有多年研发经验与多项专利，价格合理、型号齐全、质量可靠。
