1700℃两通道混气高真空CVD系统SGM 1700℃-4-C2HV

1、双层壳体，配有风冷系统，壳体温度<55℃。

2、采用高纯氧化铝纤维，有效减少热量损失。

3、内炉膛表面涂有美国氧化铝涂层，可以提高加热效率和使用寿命。

4、采用PID控制器，可以设置30段升降温程序。

5、CE认证。

管式炉

1、电源：单相AC208-240V 50/60Hz 6KW

2、炉管：高纯氧化铝陶瓷管，外径Φ100mm，内径Φ92mm，长1000mm

3、加热元件：1800℃硅钼棒8根

4、加热区域：457mm

5、恒温区域：150mm

6、工作温度：≤1650℃，连续工作1600℃

7、升温速率：≤5℃/min

8、控温精度：±1℃

9、热电偶：B型

10、不锈钢真空法兰：1对

11、机械压力表：1个

12、针阀：2个

13、连接器：KF-25，1个

14、抽气接口：KF-25转KF-40

15、卡套接头：1/4″

高真空机组

1、电源：单相AC208-240V 50/60Hz 100-110W

2、真空泵：德国Pfeiffer真空泵

3、显示屏：LCD数字显示

4、抽气速率：N₂-33L/s，He-39L/s，H₂-32L/s

5、工作范围：1000mtorr-10^-7mtorr

6、极限：10^-8mtorr（无泄漏）

质量流量混气系统

1、电源：单相AC208-240V 50/60Hz 18W

2、功率：18W

3、混气箱：Φ80mm×120mm

尺寸：管式炉550mm×380mm×520mm，高真空机组600mm×600mm×700mm，质量流量混气系统600mm×

600mm×700mm