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快速升温CVD系统RTP-1000-F3LV
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快速升温CVD系统RTP-1000-F3LV是专为半导体基片、太阳能电池及其它样品（尺寸可达 3″ ）的退火而设计，配有3路流量计和机械泵。快速升温CVD系统RTP-1000-F3LV采用 9KW的红外灯进行加热，升温速度可达 100℃/s，配有RS485 接口，可以通过控制软件在计算机上控制运行并显示温度曲线。
快速升温CVD系统RTP-1000-F3LV 炉详细介绍
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电炉型号 |
快速升温CVD系统RTP-1000-F3LV |
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主要特点 |
1、双层Al2O3纤维钢构，无需水冷或风冷。 2、内炉膛表面涂有高温氧化铝涂层，可以提高设备的加热效率及延长仪器的使用寿命。 3、PID控制器，可以设置30段升降温程序，并设有过热保护和断偶功能。 4、CE认证。 |
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技术参数 |
1、电源：单相208-240V AC 50/60Hz9KW 2、石英管：外径Φ110mm，内径Φ103mm，长380mm 3、加热元件：红外灯管，直径Φ10mm，长300mm 4、加热区：300mm 5、工作温度：温度≤1100℃ 6、控温精度：±0.5℃ 7、升温速度：RT-800℃时为50℃/s，800℃-1000℃时为10℃/s 8、温控仪：可控硅（SCR）PID自动控制 9、真空法兰：不锈钢，带有水冷接口和针阀，双层高温O型圈密封，长时间在>900℃条件下运行必须采用水 冷，循环水流量为0.5m3/hr 10、真空度：10-3torr 11、流量计：3个，量程40-400cc/min，精度4%FS |
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电炉规格 |
尺寸：炉体760mm×330mm×530mm，真空混气系统600mm×600mm×597mm 重量：炉体45kg，真空混气系统30kg |
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可选配件 |
防腐型数字真空计 |
