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微型PECVD系统
微型PECVD系统采用Φ 3" × 16" 的石英腔体，内部设有加热圈对样品进行加热，温度可以达到400℃，且采用程序化控温，系统还配有2通道混气装置和双旋机械泵，微型PECVD系统安放于移动架上，便于实验操作。本系统系对于薄膜生长和纳米线的制作是较好的选择。
微型PECVD系统 炉详细介绍
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电炉型号 |
微型PECVD系统 |
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主要特点 |
1、加热圈套有石英罩，以减小热量损失。 2、样品可置于加专线圈内，以达到更好的加热效率和温度均匀性。 3、采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序。 4、设有一滑动法兰安装于移动加上，以便于样品的放入和取出。 5、CE认证。 |
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技术参数 |
等离子源 1、等离子体射频电源：110/220V 50/60Hz <100W 2、输出频率：13、56MHz 3、射频功率：7、2W、10.5W、18W三档，可调节 4、腔体尺寸：外径Φ76、2mm×内径Φ68、58mm×长406、4mm 5、加热圈：电源220V，功率≤500W，外径Φ50mm×内径Φ40mm×70mm，并套有内径Φ50.8mm× Φ75mm的石英罩 6、法兰：Φ3″不锈钢法兰，设有KF-25真空泵接口、1/4″卡套接头、不锈钢针阀 7、通入气体：可通入多种惰性气体，如N2、Ar，不可通入易燃易爆性气体 8、真空度：10-2torr（机械泵） |
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两通道混气系统 1、浮子流量计：10-100ml/min，2个 2、针阀：304不锈钢针阀，3个 3、压力表：-0.1-1、0MPa（0.01MPa/grid），3个 |
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真空泵 1、抽气速率：120L/min 2、接口：KF-25 |
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电炉规格 |
1、尺寸：等离子源216mm×254mm×203mm，控制盒102mm×254mm×203mm，两通道混气系统340mm× 300mm×180mm，移动架600mm×600mm×1250mm 2、重量：32kg |
