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铂金靶
厂家： 日期：：2020-10-15 浏览次数：
概述：
产品名称：铂金靶
铂纯度：99、95%
重量：kg/块
规格型号：可根据用户需求来订制
产品简介及特点：靶材在溅射沉积技术中用作阴极的材料。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面重新沉积。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。铂金靶材通常是用铂钯合金制作而成，铂钯比例是80:20，纯度在99、99%以上。各种类型的溅射薄膜材料，在半导体集成电路（VLSI）、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面都得到了广泛的应用。
品名 | 铂金靶(Pt) | ||
执行标准 | GB/T 1419-2004 | ||
主金属含量（%） | 99、99 | 99、95 | |
杂质含量不大于（%） | Pt | ||
Pd | 0.003 | 0.01 | |
Rh | 0.003 | 0.02 | |
Ir | 0.003 | 0.02 | |
Ru | 0.003 | 0.02 | |
Au | 0.003 | 0.01 | |
Ag | 0.001 | 0.005 | |
Cu | 0.001 | 0.005 | |
Fe | 0.001 | 0.005 | |
Ni | 0.001 | 0.005 | |
Al | 0.003 | 0.005 | |
Pb | 0.002 | 0.005 | |
Mn | 0.002 | 0.005 | |
Cr | 0.002 | 0.005 | |
Mg | 0.002 | 0.005 | |
Sn | 0.002 | 0.005 | |
Si | 0.003 | 0.005 | |
Zn | 0.002 | 0.005 | |
Bi | 0.002 | 0.005 | |
杂质总量不大于（%） | 0.01 | 0.05 | |
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