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CVD管式炉设备由沉积温度控件、沉积反应室、真空控制部件和气源控制备件等部分组成亦可根据用户需要设计生产,管式炉炉管可选用石英管或不锈钢管。
CVD系统除了主要应用在碳纳米材料制备行业外,现在正在使用在许多行业,包括纳米电子学、半导体、光电工程的研发、涂料等领域。CVD管式炉是高校、科研院所、工矿企业做钢材渗碳处理、高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验用的不错电炉。
1、炉体采用双层炉壳结构,双层炉壳之间装有风机,可以快速升降温,炉壳表面温度低。
2、炉管采用不锈钢管、两端用不锈钢304高真空法兰密封。
3、炉膛材料采用氧化铝多晶纤维真空吸附制成,节能50%,加热元件采用合金加热丝。
4、电炉温度控制系统采用人工智能调节技术,具有PID调节、模糊控制、自整定能力并可编制各种升温程序等功能,该控制系统温度显示精度为1℃,温场稳定度&±5℃,升温速率1~30℃可任意设置。
5、多种安全防护设计,安全性能好,使用寿命长。
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电炉名称 |
SGM TF1100℃型管式炉CVD系统 |
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电炉型号 |
SGM TF1100℃-504工作室尺寸:直径50x1000mm |
SGM TF1100℃-604工作室尺寸:直径60x1000mm |
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SGM TF1100℃-804工作室尺寸:直径80x1000mm |
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SGM TF1100℃-1004工作室尺寸:直径100x1000mm |
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3 |
显示模式 |
7寸触摸屏显示 |
4 |
上限温度 |
1100℃ |
5 |
工作温度 |
≤1000℃ |
6 |
加热温区长度 |
450mm |
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炉管材质 |
不锈钢管 |
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密封方式 |
不锈钢真空法兰 |
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控温方式 |
智能化30段可编程控制,自动控温 |
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控温精度 |
&±1℃ |
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加热速率 |
≤30℃ |
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加热元件 |
合金加热丝 |
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热电偶 |
K型热电偶 |
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炉膛材料 |
氧化铝多晶纤维 |
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功率 |
4Kw |
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电压 |
220V 50Hz-60Hz |
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售后服务 |
12个月质保,终身保修 |
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气体通道 |
可通3种气源 |
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包装模式 |
三合板木质包装箱 |
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标准配件 |
管堵;热电偶1根;不锈钢管1根;真空法兰1套。 |
CVD管式炉设备由沉积温度控件、沉积反应室、真空控制部件和气源控制备件等部分组成亦可根据用户需要设计生产.CVD系统除了主要应用在碳纳米材料制备行业外,现在正在使用在许多行业,包括纳米电子学、半导体、光电工程的研发、涂料等领域。
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