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高真空CVD管式炉
SGM TF1100ZC高真空CVD管式炉是一个三温区真空管式炉和混气系统、真空系统组成。高真空CVD系统是一款专业在沉底材料上生长高质量石墨烯、碳纳米管、碳化硅的高温设备,广泛应用于在半导体、纳米材料、碳纤维、碳化硅、镀膜等新材料新工艺领域。
高真空CVD管式炉主要用于大专院校、科研院所、工矿企业等试验和小批量生产之用。主要用于电子陶瓷电炉的预烧、烧结、镀膜、高温热解低温沉积（CVD）工艺等。
SGM TF1100ZC高真空CVD管式炉仪器的控制系统采用原装电炉，具有操作容易，安全可靠，控温精度高（专家PID控制），保温效果好，温度范围大，炉膛温度均匀性高，温区多，可通气泵，抽真空等特点。
高真空CVD管式炉参数：
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电炉名称 |
SGM TF1100ZC型高真空CVD管式炉 |
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电炉型号 |
SGM TF1100ZC-503 炉膛尺寸：直径50x300mm |
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SGM TF1100ZC-603 炉膛尺寸：直径60x300mm |
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SGM TF1100ZC-803 炉膛尺寸：直径80x300mm |
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炉门结构 |
开启式 |
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上限温度 |
1200℃ |
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工作温度 |
≤1100℃ |
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加热温区 |
三温区 |
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温区长度 |
220mm |
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恒温区长 |
100mm |
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炉管材质 |
301S不锈钢管（可选刚玉管） |
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密封方式 |
不锈钢真空法兰 |
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气密性 |
真空法兰和石英炉管的气密性可达4.03x10-3Pa |
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控温方式 |
智能化30段可编程控制，自动控温 |
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控温精度 |
&±1℃ |
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加热速率 |
≤20℃ |
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加热元件 |
硅碳棒 |
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热电偶 |
K型热电偶 |
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炉膛材料 |
氧化铝陶瓷纤维 |
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功率 |
2.5Kw |
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电压 |
220V 50Hz-60Hz |
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系统真空 |
5～10Pa（需要达到其它真空度时，需选配不同的抽真空装置） |
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售后服务 |
12个月质保，终身保修 |
