产品详情

电炉介绍

功能特点：
由高温管式炉，真空压强控制系统，多通道高精度数字质量流量控制系统，过压保护及冷凝等部分组成，可实现真空达0.1mbar混合气体化学气相沉积和扩散试验。
电炉用途：
适用于高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备，生长薄膜石墨烯，金属薄膜，陶瓷薄膜，复合薄膜等，也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用
电炉参数

• 机器电源：AC220V，50/60Hz；
• 额定功率4kw
• 炉管：高纯石英管，高温下化学稳定性强，耐腐蚀，热膨胀系数极小，能承受骤冷骤热的温度变化；
• 炉管尺寸：Phi;80*-1000mm
• 加热元件：0Cr27Al7Mo2
• 加热区长度：300mm
• 恒温区长度：150mm
• 工作温度：le;1150℃
• 升温速率：le;10℃/min
• 温控系统：温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能、30段升降温程序
• 测温元件：N型热电偶
• 恒温精度：±1℃
• 保护及提醒：超温、断偶故障警报及断电保护、高精度质量流量计通过数据接口连接电脑，配置软件实时人机交互界面
• 混气系统：四通道质量流量控制，可同时通入四种不同气体、内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀、每路气体进气管路配有不锈钢针阀
• 流量规格：0~30SLM
• 控制精度：±1、0％F.S
• 极限真空：6、0×10-5Pa
• 工作真空：7、6×10-4Pa
• 冷凝系统：采用低温恒温槽，蕞低温度可达-20℃、内置不锈钢真空冷凝灌，采用KF接头，清理收集方便、槽内冷液可外引,冷却机外实验容器,也可在槽内直接进行低温、恒温实验

1200℃混合气体化学气相沉积CVD系统
生产厂家哪家好？1200℃混合气体化学气相沉积CVD系统-洛阳高温电阻炉厂家为专业的生产厂家，具有多年的研发与生产经验、质量稳定可靠 TAG: