产品详情

电炉介绍

单晶硅炉概述
高效率的设备运作
单晶硅棒高收率以及85%以上的整棒生产率
结构精良的机械部件
机械部分均采用高精度数控加工，焊接工艺符合JIS标准
安全可靠的设备装置
具有电源安全保护装置，炉体水温报警系统，炉压异常报警系统
先进的控制系统
全面数字化管理、全自动操作
技术特点
实现多次装料的技术，每次装料可高达50KG，可分为内部装料和外部装料，
极大提高生产效率，并降低生产成本
采用自行研发的抓取机械手，使得每次开炉后的冷却时间减少2-3个小时
磁流体密封技术，保证了籽晶轴的转动密封
自行研发设计水冷套，提高生产效率，降低单位能耗
自行研发设计的取棒车，方便取成品晶棒和运输
完善的服务
完善的售前服务，整体的生产培训，技术人员驻厂服务，及时的机械零部件配件，定期回访客户，实时的软件升级更新
单晶硅炉技术参数

型号		SGM-DJG-D1
周围温度		15-30摄氏度
周围湿度		le;65%（必须保证没有结露情况的发生）
洁净度		一般环境
真空度		结晶拉制环境：2、7KPa（20Torr）
到达真空度		3Pa以下
泄漏量		0.1Pa/min or 5Pa/hr
拉制晶棒直径		8quot;
坩埚轴额定承重		350Kg （可根据客户要求加大承重量）
腔内蕞小直径		phi;320mm
额定热场规格		28quot;
额定石英坩埚规格		28quot;
上炉室炉筒高度		可根据客户要求定制
籽晶轴行程		约5600mm
籽晶提升速度（低）		0-7、9mm/min
籽晶提升速度（高）		500mm/min
籽晶旋转速度		2-20rmp
坩埚升降速度（低）		0.03-3mm/min
坩埚升降速度（高）		200mm/min
坩埚轴额定承重		550kg
坩埚转速		2-20rmp
坩埚升降轴行程		700mm
重量	炉主体	8000kg
	操作箱	80kg
	电气控制箱	500kg
	加热器电源箱	1800kg
电源	定格电压	三相380V 50/60Hz
	定格电容	320KVA
	定格流量	500A
设备额定高度		＜9600mm

全自动直拉式单晶硅炉
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