双温区CVD系统-洛阳高温电阻炉厂家

双温区CVD系统

  • 别称:
  • 类型:高温电炉系列
  • 温度:
  • 规格:

产品详情

简单介绍: 双温区CVD系统由1200℃双温区管式炉、双通道质量流量计和低噪音双极旋片真空泵组成。双温区CVD系统管式炉的两个温区分别由精密控温仪表立控温,通过调节各个温区的温度,该管式炉可以在加热区内形成两段温度梯度或是形成较长的恒温区域。 详情介绍:

双温区CVD系统适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等,尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。

双温区CVD系统电炉规格:

主要技术参数

显示模式

7英寸触摸屏

真空控制

可通过参数设置,自动完成抽真空,恒压工作

炉管材料

高纯石英

炉管尺寸

直径:50mm,长度1000mm

加热温区

两温区

温区长度

200mm+200mm

工作温度

室温~1100

控温精度

±1

升温速率

建议10/min

控温模式

可编程程序控温

密封方式

真空法兰密封

双通道质量流量计

气体通道

两通道

测量仪器

质量流量计

A路量程

氢气:0500SCCM

B路量程

氩气:01000SCCM

连接管道

抛光不锈钢管

气体缓冲器

1000ml

工作压力

3Mpa

工作压差

0.3MPa

管道接口

6、35mm卡套接头

真空泵

抽气接口

KF25

排气接口

KF25

抽气速率

24立方米/小时

极限真空

5、0E-2Pa

电机功率

1100W

电机转速

1440/分钟

真空计

传感器类型

皮拉力

真空量程

1、0E-1Pa1、0E5Pa

安装方式

竖直放置

工作电压

DC24V

相关配件

连接管道

KF25波纹管1米长

聚四氟管5

石英炉管1

炉管塞子4

炉钩1

防护手套1

真空法兰1套(带密封圈、针阀、气路接头)

双温区CVD系统
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