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简单介绍： 1500℃单温区3路浮子供气高真空CVD系统由1500℃单温区管式炉、三路浮子流量计和高真空分子泵组组成。管式炉由精密控温仪表进行PID控温，可编辑30段升降温程序，同时有过热和断偶保护功能。1500℃单温区3路浮子供气高真空CVD系统炉管两侧法兰配有数字式真空计和机械式压力表，可以用来控制炉管内的气氛环境。 详情介绍：

1500℃单温区3路浮子供气高真空CVD系统管式炉采用高清真彩触控屏操作，简单易上手，即使是非专业人员经过简单的培训也可以熟练掌握仪器的使用方法，能够极大的提高您的实验效率。炉管采用高纯氧化铝制成，炉体采用一体式设计，特的设计能够保证系统在1500℃运行稳定安全，加热元件采用高品质硅碳棒，能够达到1500℃高温，若客户有需求可以定制硅钼棒加热元件以达到更高的1700℃高温。

系统所配有的三路浮子流量计，可以混合1~3路气体，较为准确的配制出实验所需的混合气体；另有一压力表安装在浮子流量计正面，可以监测气体压力及混合槽压力。本系统还配有精密分子泵组，可以达到1、0E-3pa级别的真空度，较普通机械泵可以为用户提供更纯净严苛的实验环境。

适用于高校、科研院所、工矿企业做高温烧结、金属退火、质量检测等，尤其适合需要多种气体混合的气氛环境的CVD实验。

技术参数：

真 空 管 式 炉	电炉型号	SGM-T1500-60IT
	炉管材质	高纯氧化铝
	炉管直径	60mm（可选配50mm、80mm、100mm）
	炉管长度	1000mm
	炉膛长度	400mm
	加热区长	300mm
	恒温区长	150mm
	工作温度	≤1450℃
	控温精度	±1℃
	控温模式	30段或50段程序控温
	显示模式	LCD
	密封方式	304不锈钢真空法兰
	法兰接口	1/4英寸卡套接头、KF16/25/40接头
	可抽真空	4、4E-3Pa
	供电电源	AC:220V 50/60Hz
供 气 系 统	电炉型号	SGM-3F
	气体通道	3通道
	测量部件	气体浮子流量计
	测量量程	A通道：0～100ml/min H2气		备注：如需其它量程或气体种类，定货时需要特别注明。可根据客户的具体要求来选配对应的气体种类和量程的流量计。
		B通道：16～160ml/min N2气
		C通道：25～250ml/min Ar气
	测量精度	±2、0%
	管道耐压	3MPa
	工作压差	50～300KPa
	连接管道	304不锈钢
	控制阀门	304不锈钢针阀
	接口规格	进气口和出气口为1/4英寸卡套接头
排 气 系 统	电炉型号	SGM-GZK103-A
	分子泵	SGM-600
	前极泵	旋片泵
	抽气速率	分子泵：600L/S	综合抽气性能：20分钟真空度可达：1.0E-3Pa
		旋片泵：1、L/S
	抽气接口	KF40
	排气接口	KF16
	真空测量	复合真空计：电阻规+电离规
	极限真空	1.0E-5Pa
	供电电源	AC:220V 50/60Hz

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1500℃单温区3路浮子供气高真空CVD系统
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