产品详情

简单介绍： 全自动CVD滑轨炉系统由双温区滑轨炉、质子流量控制系统、真空系统三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温；四路质子流量计能够准确控制系统的供气；全自动CVD滑轨炉真空泵可实现对管式炉快速抽真空。 详情介绍：

全自动CVD滑轨炉设备操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处，使样品能得到一个快速的升温速度，同样也可将高温的管式炉直接推离样品处，使样品直接暴露在室温环境下，得到快速的降温速率。

适用于高校、科研院所、工矿企业做石墨烯的生长、高温气氛烧结、气氛还原、CVD实验、真空退火，尤其适合需要快速升降温的CVD试验。

全自动CVD滑轨炉技术参数：

项目	明细
供电电压	AC220V，50Hz
整机功率	5KW
工作温度	≤1100℃
加热速率	建议10℃/min
炉管尺寸	O.D.50mm-220mm-220mm（加热区）-1200mm管长
控温精度	0.1℃
温区	双温区
混气系统	4路质子流量计：100sccm1个；200sccm1个；500sccm2个
真空泵	双极旋片真空泵

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全自动CVD滑轨炉
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