二路质量流量计-洛阳高温电阻炉厂家

二路质量流量计

  • 别称:
  • 类型:高温电炉系列
  • 温度:
  • 规格:

产品详情

简单介绍: 电炉特点:1、选择多种气体方式;3、04不锈钢管芯,耐腐蚀;3、不锈钢双卡快速接头,连接方便,无泄漏。 详情介绍:


○ 适用范围
1、半导体制造业
2、真空镀膜设备
3、特殊材料表面处理
4、燃气控制
5、泄漏检测系统
6、环境检测分析设备
7、化学,石化,冶金,光纤等


○ 电炉特点
1、选择多种气体方式
3、04不锈钢管芯,耐腐蚀
3、不锈钢双卡快速接头,连接方便,无泄漏


○ 技术参数

功能

两路质量流量计

质子流量控制器

工作温度:5~45ºC
*大压力:3x106Pa
精度:±5、%FS
重复精度:±0.2%F.S.
流量范围:
一路:0~100SCCM
二路:1~199SCCM
注意:其他流量范围的可定制,需额外费用

输入电源

AC220V/50Hz单相

功率

150W

机械压力表

有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接

量程:-0.1~0.15MPa(0.01MPa/grid)

针阀

316不锈钢

通气管道

内部连接管道为1/4”不锈钢管

外部通气管道为1/4”聚四氟管

混气罐

Φ80X120mm

截止阀及配件

316不锈钢针阀

Φ1/4”不锈钢管

外形尺寸

600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)

质量认证

CE认证

质保期

一年质保期,终身维护


二路质量流量计
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