应用范围:
用于集热管、节能灯排气台、半导体设备、加速器技术、等离子体技术、电真空器件的制造及真空技术各领域
技术特点:
可获得无油的清洁高真空、结构紧凑,便于使用、电控系统,操作灵活
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