烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的高温设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。
烧结炉额定温度:1800℃、2000℃、2200℃,2500℃,烧结炉是一种在高温下,使使陶瓷生坯固体颗粒的相互键联,晶粒长大,空隙(气孔)和晶界渐趋减少,通过物质的传递,其总体积收缩,密度增加,蕞后成为具有某种显微结构的致密多晶烧结体的炉具,称为烧结炉。
1、加热元件:SGM-HE二硼化锆复合陶瓷加热体
2、测温元件:SGM-TR二硼化锆复合陶瓷热电偶
3、炉膛材料:真空成型陶瓷纤维材料和石墨隔热屏混合结构。侧开门进出烧结物。
4、控制性能:可编程满足30段连续控温和恒温要求,PID自整定功能,手动/自动无干扰切换功能,具有温度补偿、超温报警功能。
5、额定温度:1800℃、2000℃、2200℃,2500℃
6、真空度: 6、67times;10-2Pa
烧结炉加热元件采用陶瓷纤维加热扳或陶瓷加热棒,可满足快速升温工艺要求;温控系统采用多段智能程序温度控制仪控制,温度控制系统的稳定性、重复性十分可靠;变频无级调速,不锈钢网带传送,全新的外观设计理念,确保了产品平稳输送.。 产烧结炉与气氛烧结炉,主要用于特种陶瓷,精密陶瓷,荧光粉,发光粉,粉末冶金,锂电池材料等无机材料的烧结
工业领域烧结炉涵盖了市场上大部分的高温烧结炉,按照行业来分,烧结炉的种类主要有:
1、太阳能领域: 多晶硅铸锭炉也属于烧结炉的一种
2、硬质合金领域: 真空烧结炉,低压(60bar)烧结炉,真空脱脂烧结炉,低压脱脂烧结炉,低压脱脂烧结气淬炉(20bar
3、粉末冶金领域: 连续式网带烧结炉(1150度),推杆式烧结炉(1250度),钢带烧结炉(1000度),回转式烧结炉等
烧结炉用于特种陶瓷,精密陶瓷,荧光粉,发光粉,粉末冶金,锂电池材料等,无机材料的烧结烧结炉广泛应用于1050度以下电子产品在保护气氛或空气中的预烧、烧成或热处理工艺,包括导体浆料、电阻浆料及介质等厚膜电路,电阻、电容、电感等电子元件的端头烧银、烧成,电路管壳、晶振等元件的玻璃缘子封装等。 烧结炉在钢铁行业、冶金行业、电子行业等都有广泛应用。
硅片烧结炉都有哪些
(1)当使用氢气或分解氨时,要先通入氮气,在确保炉中的空气完全被排出时,才能通电升温,以防止打鸣和爆炸。
(2)对钼丝作加热元件的烧结炉,在通电前炉体中应通入保护气体,以防止钼丝氧化而脆断。
(3)炉门及气体排出口应点明火烧除,以防止氧气进入或氢气排出而发生爆炸危险和煤气中毒危险。
(4)若电热元件为铁铬铝电阻丝,在升温至1100℃时应停留一段时间(30min左右)再升温,以防止电阻丝表面温度过高而损坏。
(5)在升温前和操作中应不时检查气流、水流是否符合要求,以及检查设备、电和炉温的控制仪表是否正常。
(6)停炉前应先断电,在炉温降到200℃以下时再停气和停水。
(7)除了因维修必须停炉外,要避免频繁停炉。烧结炉的频繁开停,会造成加热元件易于老化,耐火材料易于碎裂,炉内气氛不纯,炉温容易波动等弊端。
2)烧结气氛输送管配置和冷却水降温装置
当粉末冶金零件的生产超过一定的规模后,为了确保烧结零件的质量和炉子的使用寿命,烧结炉应有烧结气氛输送管配置和冷却水降温装置。一般每台烧结炉都可配有两种气源的管道,以备一种气体的管道出现故障时,另一种气体可代用,避免因停气造成烧结质量问题和炉子损坏。
3)烧舟的合理使用和整修
在步进梁式炉、推杆式炉及间歇式炉中烧结,必须使用烧舟。烧舟在高温中反复使用,不可避免地会翘曲变形。对于变形烧舟必须及时检出进行整修,方可投入使用,以免变形的烧舟在炉内产生卡舟事故,既影响烧结零件质量又严重降低烧结炉的使用寿命。因此,在烧结工段应备一台整舟用液压机及整舟模具,对变形的烧舟及时整修。
此外,网带式烧结炉虽然多半不使用烧舟,但有时为了减少工件(特别是薄型、细长件等)变形,也采用烧舟,即将压坯装在烧舟中,然后再排放在网带上。对于形状特殊的零件,烧结时需要做专用工装。装舟形式主要有以下几种。
(1)薄的烧结零件,应选用底面平整的石墨舟,烧结中不变形。对网带式烧结炉考虑到网带使用寿命,常用陶瓷板作为烧舟。
(2)舟底部平整,烧结厚壁及外形较小的压坯,可直接装舟。
(3)旧舟底部不平,烧结薄壁及外形较大的压坯时,烧舟底部需填上薄层A120,等填料,并加盖。
(4)特殊要求、需严防氧化的烧结零件,烧结舟上部可放上3mm厚的钢板盒覆顶,盒外再放置填料。
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