1400℃四通道管式炉
该SGM四通道单温区CVD系统由 4路供气系统+单温区管式炉+抽气系统组成！ CVD系统是在单温区管式炉，炉底(可选)配安装一对滑轨，可用手滑动。可以达到快速升降温的目的，为取得蕞快加热速率，可以预先加热炉子到设定的温度，然后移动炉子到样品区。为获得蕞快冷却，可在样品加热后移动炉子到另一端。物料可以在真空或者惰性气体环境下的升温速率或降温速率达到100°C/s，是低成本快速热处理的不错炉子。
结构特点：
1、高真空系统由双级旋片真空泵和分子泵组成，额定真空可达0.0001Pa；
2、可配合压强控制仪控制气体压力实现负压的精准控制；
3、数字质量流量控制系统是由多路质量流量计，流量显示仪等组成，实现气体的流量的精密测量和控制；每条气体管路均配备高压逆止阀，保证系统的安全性和连续均匀性。
4、采用KF快速法兰密封，装卸方便快捷；管路采用世界顶级Swagelok卡套连接，不漏气；
5、超温、过压时，自动切断加热电源及流量计进气，使用安全可靠。
CVD-1400系统由开启式单（多）温区管式炉、高真空分子泵系统、压强控制仪及多通道高精度数字质量流量控制系统组成。可实现真空达0.001Pa混合气体化学气相沉积和扩散试验。
主要用途：
高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD/CVI实验，特别适用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备、纳米线生长、电池材料干燥烧结等场所
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电炉型号 |
SGMT1400D-60-CVD |
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炉体结构 |
双层壳体结构，配有风冷系统 |
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炉膛材质 |
技术真空吸附成型的质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好 |
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炉管材质 |
高纯刚玉管；可选外径Φ40/50/60/80-100*1200-1500mm |
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密封法兰 |
不锈钢快速挤压密封法兰 |
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温控系统 |
温度控制系统采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能，并可编制30段升降 温程序；控温精度±1℃ |
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显示模式 |
仪表面板显示 |
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加热元件 |
质硅碳棒 |
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测温元件 |
S型热电偶（可选购增加内置热电偶，实时监测加热物料温度） |
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使用温度 |
额定温度1400℃，连续工作温度≤1350℃ |
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升温速度 |
推荐≤10℃/min，蕞快升温速度30℃/min |
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降温速度 |
700℃以上≤10℃/min |
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恒温区 |
加热区长度440mm，恒温区200mm |
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真空范围 |
0.1-0.001Pa |
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极限真空 |
4、0*10^-4Pa |
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电炉配置 |
双级旋片真空泵+分子泵 |
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测量方式 |
复合真空计 |
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真空规管 |
电阻规+电离规 |
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质量流量计 |
控制方式：质量流量计,流量显示仪（七星华创、美国Omega、Horiba） |
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质量流量计 |
流量规格0－500SCCM /0－1SLM,（可根据客户需要配置） |
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质量流量计 |
线性±1%F.S |
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质量流量计 |
准确度±1%F.S |
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质量流量计 |
重复精度±0.2%F.S. |
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质量流量计 |
响应时间≤2sec |
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质量流量计 |
耐压3MPa |
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质量流量计 |
气路通道双通道（根据客户需求） |
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机器电源 |
AC220V，50/60Hz；额定功率4kw |
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执行标准 |
GB/T 10066、1-2004、GB/T 10067、4-2005 |
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标准配置 |
主机1台，密封法兰1套，“O”型圈4个，石英管1根，管堵4个，坩埚钩1把， 说明书、合格证、保修卡各1份 |
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可选混气 |
多通道浮子、质量混气系统 |
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选购件 |
炉架，各种石英、刚玉坩埚，石英管，高温手套，计算机控制软件，无纸记录仪等。 |
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