产品详情

	1、清洗镀膜一气呵成，杜绝二次污染； 2、上开启式结构，方便观察试样； 3、电炉采用全自动控制方式，触摸屏，数字化显示； 4、设备一体化程度高； 5、稳定的射频电源，均匀的温度分布，提高成膜质量；
电炉型号	SGM-PECVD1200-80IT
电气规格	AC220V 4KW
额定温度	1200 ℃
连续温度	1150℃
额定加热速率	≤ 20 ℃/分钟
射频电源	500W13、56MHz
炉管尺寸	Φ80*1200mm
沉积示意图		如图所示：此为该设备沉积过程中的示意图
控制系统		1、采用全自动控制方式,触摸屏实时显示设备各项数据； 2、实验过程更加直观，操作更加便捷； 3、具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。
温度精度	+/- 1 ℃
加热元件		Mo掺杂的Fe-Cr-Al合金
密封系统
	真空度：≤10Pa（机械泵）
压力测量与监控		采用数显真空计，可使设备真空度更加直观，实验结果更加准确。
供气系统		采用两路质子流量计精度控制气体流速，与设备集成为一体；
净重	360KG
设备使用注意事项	1、设备使用时，炉管内压力不得超过0.125MPa（绝对压力），以防止压力过大造成设备损坏； 2、真空下使用时），设备使用温度不得超过800℃。
服务支持	1年质保，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如炉管和密封圈等）。

生产厂家哪家好？PECVD等离子体化学气相沉积系统-洛阳高温电阻炉厂家为专业的生产厂家，具有多年的研发与生产经验、质量稳定可靠 TAG: