CVD系统：1200度混合气体化学气相沉积CVD系统
- 别称：CVD系统
- 类型：高温电炉系列
- 温度：
- 规格：
产品详情
SGM 1200度管式炉CVD为洛阳西格马研发生产的1200度混合气体化学气相沉积CVD系统，西格马高温电炉可生产1200℃滑动式CVD系统、1200℃低真空CVD系统、1200℃双温区管式炉CVD。
1200度CVD系统由高温管式炉，真空压强控制系统，多通道高精度数字质量流量控制系统，过压保护及冷凝等部分组成，可实现真空达0.1mbar混合气体化学气相沉积和扩散试验。
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统，温度可以达到1200度、1400度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合
CVD系统用途：
CVD系统可用于高校、科研院所用于真空镀膜、纳米薄膜材料制备，生长薄膜石墨烯，金属薄膜，陶瓷薄膜，复合薄膜等，也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用1200度CVD系统主要技术参数：
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电炉型号 |
1200-MINI-G3Z |
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工作温度 |
le;1150℃ |
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加热区尺寸 |
200mm |
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升温速率 |
le;20℃/s |
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电气规格 |
AC220V 1、2KW |
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气体系统（可选购） |
流量计类型 |
浮子流量计 |
质量流量计 |
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管道示意图 |
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进气接口数量 |
2、3、4（多路可选） |
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流量范围 |
20-250/20-800ml/min(多量程可选) |
50-100/200sccm(多量程可选) |
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工作压差范围 |
0-0.15MPa |
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低真空系统（可选购） |
真空泵型号 |
SGM-1、5C |
SGM-3C |
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抽气速率 |
1L/s |
3L/s |
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进排气口尺寸 |
Phi;8mm宝塔接头 |
Phi;8mm宝塔接头 |
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极限压力 |
1000Pa |
100Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC220V |
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高真空系统（可选购） |
真空泵型号 |
SGM-103(A) |
SGM-103(B) |
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抽气速率 |
110L/s |
600L/s |
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真空测量计 |
复合真空计 |
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极限压力 |
10^-3Pa |
10^-4Pa |
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工作温度 |
5-40℃ |
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电气规格 |
AC220V |
AC 220V |
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